• 特長
  • 仕様/オプション
  • アプリケーション
  • 関連製品
  • more info

特長 STRONG POINT

IB-19530CP クロスセクションポリッシャ™ 断面試料作製装置
 経営サポート対象 

IB-19530CP クロスセクションポリッシャ™は、多様化する市場ニーズに応えるべく、マルチパーパスステージを採用し、各種機能ホルダーを交換することで多機能化を実現しました。
用途に応じた機能ホルダーを選択することにより、断面ミリングだけではなく、平面ミリング、イオンビームスパッタコーティングなどの機能が拡張できます。

自動加工プログラム

高速加工と仕上げ加工をプログラムすることができます。高品質な断面を短時間で作製できます。また、間欠加工プログラムにより、加工温度を抑えた加工ができます。

  • 自動加工開始モード
    設定圧力値に到達後、自動で加工を開始可能です。
  • 間欠加工モード
    イオンビーム照射と停止を一定間隔で繰り返し、試料の温度上昇を抑えることができます。
  • 仕上げ加工モード
    高加速電圧の加工後、低加速電圧の加工に自動で切り替えて、短時間で高品質な断面作製が可能です。
    特に結晶構造解析のための試料作製に有効です。

マルチパーパスステージ

各種機能ホルダーを選択することにより、断面ミリングだけではなく、平面ミリング、回転断面ミリング、イオンビームスパッタコーティング機能の拡張が可能です。

断面ミリング
断面ミリング
標準断面ミリング
高耐久遮蔽板の採用により、従来の遮蔽板よりも約3倍 (約8時間) の長時間ミリングが可能となりました。
広域断面ミリング (オプション)
広域加工ホルダーを使用することで、最大加工幅: 8mmの断面ミリングが可能です。
精密加工位置合わせ断面ミリング (オプション)
専用の精密加工位置合わせ顕微鏡を使用することで、高倍率で容易に加工位置の調整が可能です。
平面ミリング
(オプション)
平面ミリング
試料表面に生じた機械研磨のキズや歪みを除去することが可能です。
試料:銅板
回転断面ミリング
(オプション)
回転断面ミリング
専用遮蔽材を用いることで、試料に360°の方向からイオンビーム照射して、筋状の加工痕を低減した断面加工が可能です。
試料:シャープペンシルの芯
イオンビームスパッタ
コーティング

(オプション)
イオンビームスパッタコーティング
イオンビームスパッタ方式による高品質なカーボンコーティングが可能です。
試料:紙上の印刷部断面
ミリングスピード 500µm/h以上(加速電圧8kV)*1

*1: 2時間の平均値、Si換算、エッジ距離100µm

関連LINK

カタログダウンロード
JEOL-rento

仕様/オプション SPEC / OPTION

標準仕様
形式 IB-19530CP
イオン加速電圧 2~8kV
ミリングスピード 500μm/h以上 (加速電圧8kV) *1
試料スイング機能*2 ±30°自動スイング
自動加工開始モード 設定した圧力値に到達後、自動で加工開始
間欠加工モード イオンビーム照射時間と停止時間を設定可能 (ON: 1~999秒、OFF: 1~999秒)
仕上げ加工モード 自動的に加工条件切り替え
広域断面ミリングモード 最大加工幅: 8mm (オプション: 広域加工ホルダー IB-11730LMH)
最大搭載試料サイズ 断面ミリング 11mm (幅)×10mm (長さ)×2mm (厚さ) (標準付属試料ホルダー)
25mm (幅)×15mm (長さ)×10mm (厚さ) (オプション: 広域加工ホルダー IB-11730LMH)
平面ミリング 40mm (直径)×15mm (厚さ) (オプション: 大形試料回転ホルダーIB-11550LSRH)
試料移動範囲 X軸: ±6mm、 Y軸: ±2.5mm
操作法 タッチパネル、6.5型ディスプレー
加工位置合わせ法 カメラにより試料ステージ上をモニター*3。 光学顕微鏡下でも加工位置調整可能
位置合わせ用カメラ倍率 約×70 (6.5型ディスプレー上)
加工観察用カメラ倍率*4 約×20 ~ ×100 (6.5型ディスプレー上) (IB-14510MCAM取り付け時)
外部モニター出力*4 位置合わせ用カメラと加工観察用カメラを切り替えて外部モニターに表示可能 (IB-14510MCAM取り付け時)
プリセット機能 加工条件 (加速電圧、アルゴンガス流量、加工時間、間欠加工)を4組プリセット
寸法・質量 本体 545mm (幅)×550mm (奥行)×420mm (高さ)、約66kg (IB-14510MCAM取り付け時)
ロータリーポンプ 150mm (幅)×427mm (奥行)×230mm (高さ)、約16kg

設置条件

電源 単相AC100~120V、50/60Hz、許容入力電圧変動 10%以下、設備定格15A以上
最大消費電力 650VA
接地端子 D種接地 (100Ω以下)
アルゴンガス *5 純度99.9999%以上推奨
使用圧力: 0.1~0.2MPa (1.0~2.0kgf/cm2)
ホース接続口: JIS B 0203 Rc 1/4
室温 15~25°C
湿度 60%以下 (結露しないこと)

*1: 2時間の平均値、Si換算、エッジ距離100µm
*2: 特許:第4557130号
*3: 特許:第4208658号
*4: IB-14510MCAMを装着すると、試料をリアルタイムでモニターすることができます。
ミリング中の試料の状態を観察できます。
外部モニターはお客様にてご用意ください。
*5: アルゴンガス、ガスボンベ、およびレギュレータはお客様にてご用意ください。

ギャラリー GALLERY

関連製品 RELATED PRODUCTS

インフォメーション MORE INFO

本製品・関連製品のキャンペーン

導入事例