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特長 STRONG POINT

IB-19530CP クロスセクションポリッシャ™ 断面試料作製装置
IB-19530CP クロスセクションポリッシャ™は、多様化する市場ニーズに応えるべく、マルチパーパスステージを採用し、各種機能ホルダーを交換することで多機能化を実現しました。
用途に応じた機能ホルダーを選択することにより、断面ミリングだけではなく、平面ミリング、イオンビームスパッタコーティングなどの機能が拡張できます。

ハイスループット

高速イオンソースの搭載と自動加工開始機能により、加工開始までの待ち時間なく短時間でミリングができます。

自動加工プログラム

高速加工と仕上げ加工をプログラムすることができます。高品質な断面を短時間で作製できます。また、間欠加工プログラムにより、加工温度を抑えた加工ができます。

簡単セッティング

機能ホルダーをモジュール化したことで、別売りの光学顕微鏡下でも加工位置の調整ができます。

マルチパーパスステージ

各種機能ホルダーを選択することにより、断面ミリングだけではなく,平面ミリング,イオンビームスパッタコーティング機能が拡張できます。

高耐久遮蔽板

従来遮蔽板から約3倍の耐久性を実現し、高加工レート化/長時間ミリングに対応できます。

仕様 SPEC

イオン加速電圧 2~8kV
ミリングスピード 500μm/h
最大搭載試料サイズ 11mm(幅)×10mm(長さ)×2mm(厚さ)
試料スイング機能 ミリング中、試料を±30°自動スイング (特許:第4557130号)
自動加工開始モード 設定した圧力値に到達後、自動で加工開始
間欠加工モード イオンビーム照射をパルス制御し、加工時に発生する熱を抑える
仕上げ加工モード メイン加工後、仕上げ加工を自動で開始

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