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特長 STRONG POINT

JBX-3050MV 電子ビーム描画装置
45nm~32nm ノードマスク ・ レチクル制作用可変成形電子ビーム描画装置です。
最先端技術で高速、高精度、高信頼性を実現しています。
加速電圧50 kVの可変成形ビームとステップ&リピートステージ方式を基本とした描画装置です。

ステップ & リピート描画方式のメリットを生かし、描画ドーズ量変調機能、重ね描画機能等を組み合わせることにより、次世代マスク/レチクルのパターニングに求められる多種多様な補正に対応することができます。

導入実績

国内外のキャプティブマスクショップとマーチャントマスクショップ。

仕様 SPEC

つなぎ精度 ≦±3.8nm
重ね合わせ精度 ≦±7nm

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