JEM-2200FS 電界放出形透過電子顕微鏡基礎から応用研究まで

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特長 STRONG POINT

JEM-2200FS 電界放出形透過電子顕微鏡
JEM-2200FS は、フィールドエミッション形電子銃を光源に持ちΩ形インカラム形エネルギーフィルタを搭載した分析電子顕微鏡です。
本装置のフィルタワークにより、試料中の元素分析はもちろん、その化学結合状態の分析もできます。ゼロロスフィルタ像や、エネルギー選択像からは観察の目的に応じた情報を得ることができます。

インカラム形オメガフィルタ

最適化された光学系設計によりディストーションフリーを実現したインカラム形エネルギーフィルタにより高精度のエネルギーフィルタ像およびエネルギー損失スペクトルを得ることができます。

制御システム

電子銃 ・ レンズ ・ フィルタなどの光学系、ゴニオメータステージ、排気系などが全てコンピュータ制御されています。システムの高い安定性により常に良好なデータを得ることができます。

結像システム

中間レンズ 4 段、投影レンズ 2 段の新結像システムの採用により、幅広い倍率 ・ カメラ長範囲でエネルギーフィルタリングされた TEM 像および回折パターンのローテーションフリーを実現しました。

ピエゾコントロールゴニオメータ

ピエゾ素子を組み込んだ新しいゴニオメータステージは、原子レベルにおける視野選択のスムーズな操作性を実現しました。

仕様 SPEC

バージョン※1 超高分解能
構成(UHR)
高分解能
構成(HR)
試料高傾斜
構成(HT)
試料冷却
構成(CR)
ハイコントラスト
構成(HC)
分解能
 粒子像
 格子像
0.19 nm
0.1 nm
0.23 nm
0.1 nm
0.25 nm
0.1 nm
0.27 nm
0.14 nm

0.31 nm
0.14 nm

エネルギー分解能 0.8 eV(ゼロロス半値幅)
加速電圧 160 kV,200 kV※2
 最小可変幅
 エネルギーシフト
50 V
最大3,000 V(0.2Vステップ)
電子銃
 エミッション方式 ZrO/W(100)ショットキー方式
 輝度 ≧4×108 A/cm2・sr
 真空度 ×10-8 Pa オーダ
 プローブ電流 0.5 nA at1 nm probe
電源安定度
 加速電圧 ≦1×10-6/min
 対物レンズ電流 ≦1×10-6/min
 フィルタ電流 ≦1×10-6/min
対物レンズ
 焦点距離 1.9 mm 2.3 mm 2.7 mm 2.8 mm 3.9 mm
 球面収差係数 0.5 mm 1.0 mm 1.4 mm 2.0 mm 3.3 mm
 色収差係数 1.1 mm 1.4 mm 1.8 mm 2.1 mm 3.0 mm
 最小焦点可変量 1.0 nm 1.4 nm 1.8 nm 2.0 nm 5.2 nm
スポットサイズ
 TEMモード 2~5 nm 7~30 nm
 EDSモード 0.5~2.4 nm 1.0~2.4 nm - 4~20 nm
 NBDモード - -
 CBDモード 1.0~2.4 nm -
収束電子回折
 収束角(2α) 1.5~20 mrad以上 -
 取込角 ±10 ° -
倍率
 MAGモード ×2,000~ 1,500,000 ×2,000~ 1,200,000 ×1,500~1,000,000 ×1,200~600,000
 LOW MAGモード ×50~1,500
 SA MAGモード ×10,000~800,000 ×8,000~ 600,000 ×8,000~500,000 ×5,000~ 400,000
エネルギー選択像
有効視野サイズ
10eV選択時最終像面(フィルム)上において直径80mm
2eV選択時最終像面(フィルム)上において直径25mm
カメラ長
 制限視野回折 150~1,500mm 200~2,000 mm 250~2,500 mm 300~3,000 mm
EELS分散
 スリット上 1.2 μm/eV at 200 kV
 最終像面上 50~300 μm/eV at 200 kV
試料室
 移動量(XY/Z) 2mm/0.2mm 2mm/0.4mm 2mm/0.4mm 2mm/0.4mm 2mm/0.4mm
 傾斜角(X/Y)※3 ±25°/±25° ±35°/±30° ±42°/±30° ±15°/±10° ±38°/±30°
 傾斜角(X)※4 ±25° ±80° ±80° ±80° ±80°
EDS※5
 立体角※6 0.13 sr - 0.09 sr
 取出角 25° - 20°
 

※1 機種発注時にいずれかの構成を選択すること。
※2 80、100、120 kVは加速管ショート機構(オプション)によって可能
※3 試料2軸傾斜ホルダ使用時
※4 高傾斜試料台使用時
※5 EDSはオプション
※6 30mm2 検出器取付け時の値

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