JEM-3200FS 電界放出形透過電子顕微鏡ナノ領域分析に最高性能を発揮

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特長 STRONG POINT

JEM-3200FS 電界放出形透過電子顕微鏡
JEM-3200FSは、最高加速電圧300kVの電界放出形電子銃(FEG)とインカラム方式のΩ形エネルギーフィルタを装備した、幅広い研究分野で多くのソリューションを提供する電子顕微鏡です。

インカラム方式Ω形エネルギフィルタ

インカラム方式のΩ形エネルギーフィルタを結像レンズの一部として組み込むことにより、エネルギー選択像とエネルギー損失スペクトルの両方を容易に得られるとともに、従来の電子顕微鏡と同等の倍率可変範囲を得られます。また、Ωフィルタの光学系は、結像歪みが最小となるように設計されていますが、さらに、残存している歪も工場出荷時に最終的に補正されています。 高感度カメラシステムおよび画像処理システム(オプション)を構成することにより、元素マッピングおよびエネルギー損失スペクトロスコピーシステムを構築することが可能です。

新制御システムの採用

電子銃、光学系、ゴニオメータ、排気系など、電子顕微鏡の基本機能をサブシステム化し、高機能かつ安定性の高い制御システムが実現しました。 画面やユーザインターフェイスには、Windowsを採用し、操作のプログラム化やアタッチメントの集中制御が可能となりました。

新ゴニオメータの採用

サブシステム化された新形ゴニオメータは、ピエゾ駆動機構が組み込まれていますので、高倍率での試料移動が飛躍的に向上します。

仕様 SPEC

バージョン※1 超高分解能
構成(UHR)
高分解能
構成(HR)
試料高傾斜
構成(HT)
ハイコントラスト
構成(HC)
分解能
 粒子像
 格子像
0.17nm
0.1 nm
0.19nm
0.1 nm
0.21nm
0.1 nm
0.26nm
0.14 nm
エネルギー分解能 0.9 eV(ゼロロス半値幅)
加速電圧 300kV,200kV,100kV※2
 最小可変幅
 エネルギーシフト
100V
最大3,000V (0.2Vステップ)
電子銃
 エミッション方式 ZrO/W(100)ショットキー方式
 輝度 ≧7×108 A/cm2・sr
 真空度 3×10-8Pa
 プローブ電流 0.5nA for 1nm probe
電源安定度
 加速電圧 2×10-6/min
 対物レンズ電流 1×10-6/min
 フィルタレンズ電流 1×10-6/min
対物レンズ
 焦点距離 2.7 mm 3.0 mm 3.5 mm 3.9 mm
 球面収差係数 0.6 mm 1.1 mm 1.4 mm 3.2 mm
 色収差係数 1.5 mm 1.8 mm 2.2 mm 3.0 mm
 最小焦点可変量 1.0 nm 1.4 nm 1.5 nm 4.1 nm
スポットサイズ
 TEMモード 2~5 nmφ 2~5 nmφ 7~30 nmφ
 EDSモード 0.4~1.6 nmφ 0.5~2.4 nmφ 4~20 nmφ
 NBDモード 0.4~1.6 nmφ 0.5~2.4 nmφ -
 CBDモード 0.4~1.6 nmφ 0.5~2.4 nmφ -
収束電子回折
 収束角(2α) 1.5~20 mrad -
 取込角 ±10 ° -
倍率
 MAGモード ×2,500~1,500,000 ×2,000~1,200,000 ×1,500~1,200,000
 LOW MAGモード ×100~3,000
 SA MAGモード ×8,000~600,000 ×6,000~500,000 ×5,000~500,000
有効視野サイズ 10eV選択時フィルム面上において直径60mm
2eV選択時フィルム面上において直径25mm
カメラ長
 制限視野回折 200~2,000 mm 250~2,500 mm 400~3,000 mm
EELS分散
 エネルギー選択 0.85 μm/eV at 300 kV
 スリット上
 フィルム面上 100~220 μm/eV at 300kV
試料室
 試料移動量(XY/Z) 2mm/0.2mm 2mm/0.4mm 2mm/0.4mm 2mm/0.4mm
 試料傾斜角(X/Y) ±25°/±25°※3 ±35°/±30°※3 ±42°/±30°※3 ±38°/±30°※3
EDS※4
 立体角 0.13 sr 0.09 sr
 取り出し角 25° 20°
 

※1 機種発注時にいずれかの構成を選択すること。
※2 100,200kVは加速管ショート機構(オプション)によって可能となります。
※3 試料2軸傾斜ホルダ(EM-31630)使用時。
※4 EDSシステム(オプション)が必要です。仕様は30mm2検出器使用時の値です。

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