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特長 STRONG POINT

JEM-ACE200F ハイスループット解析電子顕微鏡
 経営サポート対象 

JEM-ACE200Fは操作ワークフローのレシピを作成することによって、オペレーターは直接電子顕微鏡操作を行わなくてもデータを取得できるシステムに対応した電子顕微鏡です。
ハイエンド電子顕微鏡であるJEM-ARM200Fや汎用FE-TEMであるJEM-F200のハードウェアテクノロジーを統合して高安定性、高分解能を実現し、装いも新たに洗練されたデザインでデビューしました。

本体プラットフォーム

  • Cs補正装置搭載可能 、CFEG
  • 高速・高精度ステージ 既存のモーター駆動制御に比べ3倍速く、Piezo駆動制御と同等の微動制御可能

簡単操作

  • TEMの操作経験が浅くても直観的に操作可能
    • 操作盤を使用した操作を極力少なくし、画面上のボタンを順番にクリックしながら最終画像を取得可能
    • フォーカス調整等もマウス操作で可能
    • ガタンカメラとインテグレーション可能
  • 自動調整機能
    • オートフォーカス、オート非点合わせ、オート試料高さ調整、オートビームセンタリング、オートオリエンテーション等

自動データ取得機能

  • レシピによる自動データ取得可能
    • TEM像、STEM像、元素マップ
    • グリッド上の複数試料に対応

測長ソフトウェアとのリンク

  • TEM側で設定倍率別に倍率キャリブレーション可能
    • 複数のJEM-ACE200Fで取得したデータを自動測長可能

遠隔操作

  • 隣室オペレーション
  • 遠隔地オペレーションおよび複数地点同時観察 (ネットワーク環境に依存)
    • 複数事業所とディスカッションしながら同時観察可能

鏡筒エンクロージャーによる耐環境性能向上

  • 騒音、気流、室温変化の抑制に寄与
  • 内壁に吸音材を装着して、更なる防音対策可能

Analysis instruments からAnalysis tool

-STEM/TEM解析を自動化し、プロセス改善、品質管理の安定的な向上に役立ちます-
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仕様/オプション SPEC / OPTION

TEM分解能(200kV時) 粒子像   ≤0.21nm
格子像    0.1nm
インフォメーションリミット  ≤0.11nm
STEM分解能(200kV時) 暗視野透過電子走査像 ≤0.136nm  収差補正(オプション)時 ≤0.1nm
明視野透過電子走査像 ≤0.136nm  収差補正(オプション)時 ≤0.1nm
電子銃 冷陰極電界放出形電子銃 (CFEG)
加速電圧 60kV~200kV
(200kV,80kV標準対応、その他の加速電圧は別途オプション)
試料移動 X,Y ±1.0mm  Z ±0.2mm
試料傾斜角 TX/TY (二軸傾斜ホルダー)   ±20°/±25°
TX (専用高傾斜ホルダー)    ±80°
オプション JEOL100mm2 SDD(Dual)、EELS、Cs corrector、Automation Center、Tomography 

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