JEM-ACE200F ハイスループット解析電子顕微鏡

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特長 STRONG POINT

JEM-ACE200Fは操作ワークフローのレシピを作成することによって、オペレーターは直接電子顕微鏡操作を行わなくてもデータを取得できるシステムに対応した電子顕微鏡です。
ハイエンド電子顕微鏡であるJEM-ARM200Fや汎用FE-TEMであるJEM-F200のハードウェアテクノロジーを統合して高安定性、高分解能を実現し、装いも新たに洗練されたデザインでデビューしました。

本体プラットフォーム

Cs補正装置搭載可能、CFEG
高速・高精度ステージ　既存のモーター駆動制御に比べ3倍速く、Piezo駆動制御と同等の微動制御可能

簡単操作

TEMの操作経験が浅くても直観的に操作可能
- 操作盤を使用した操作を極力少なくし、画面上のボタンを順番にクリックしながら最終画像を取得可能
- フォーカス調整等もマウス操作で可能
- ガタンカメラとインテグレーション可能
自動調整機能
- オートフォーカス、オート非点合わせ、オート試料高さ調整、オートビームセンタリング、オートオリエンテーション等

自動データ取得機能

レシピによる自動データ取得可能
- TEM像、STEM像、元素マップ
- グリッド上の複数試料に対応

測長ソフトウェアとのリンク

TEM側で設定倍率別に倍率キャリブレーション可能
- 複数のJEM-ACE200Fで取得したデータを自動測長可能

遠隔操作

隣室オペレーション
遠隔地オペレーションおよび複数地点同時観察 (ネットワーク環境に依存)
- 複数事業所とディスカッションしながら同時観察可能

鏡筒エンクロージャーによる耐環境性能向上

騒音、気流、室温変化の抑制に寄与
内壁に吸音材を装着して、更なる防音対策可能

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－STEM/TEM解析を自動化し、プロセス改善、品質管理の安定的な向上に役立ちます－

仕様／オプション SPEC / OPTION

TEM分解能（200kV時）	粒子像　　　≤0.21nm 格子像　　　　0.1nm インフォメーションリミット　　≤0.11nm
STEM分解能（200kV時）	暗視野透過電子走査像　≤0.136nm　　収差補正(オプション)時　≤0.1nm 明視野透過電子走査像　≤0.136nm　　収差補正(オプション)時　≤0.1nm
電子銃	冷陰極電界放出形電子銃 (CFEG)
加速電圧	60kV～200kV (200kV,80kV標準対応、その他の加速電圧は別途オプション)
試料移動	X,Y　±1.0mm　　Z　±0.2mm
試料傾斜角	TX／TY (二軸傾斜ホルダー)　　　±20°／±25° TX (専用高傾斜ホルダー)　　　　±80°
オプション	JEOL100mm² SDD(Dual)、EELS、Cs corrector、Automation Center、Tomography