JEM-ACE200F ハイスループット解析電子顕微鏡
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特長 STRONG POINT

経営サポート対象
JEM-ACE200Fは操作ワークフローのレシピを作成することによって、オペレーターは直接電子顕微鏡操作を行わなくてもデータを取得できるシステムに対応した電子顕微鏡です。
ハイエンド電子顕微鏡であるJEM-ARM200Fや汎用FE-TEMであるJEM-F200のハードウェアテクノロジーを統合して高安定性、高分解能を実現し、装いも新たに洗練されたデザインでデビューしました。
本体プラットフォーム
- Cs補正装置搭載可能 、CFEG
- 高速・高精度ステージ 既存のモーター駆動制御に比べ3倍速く、Piezo駆動制御と同等の微動制御可能
簡単操作
- TEMの操作経験が浅くても直観的に操作可能
- 操作盤を使用した操作を極力少なくし、画面上のボタンを順番にクリックしながら最終画像を取得可能
- フォーカス調整等もマウス操作で可能
- ガタンカメラとインテグレーション可能
- 自動調整機能
- オートフォーカス、オート非点合わせ、オート試料高さ調整、オートビームセンタリング、オートオリエンテーション等
自動データ取得機能
- レシピによる自動データ取得可能
- TEM像、STEM像、元素マップ
- グリッド上の複数試料に対応
測長ソフトウェアとのリンク
- TEM側で設定倍率別に倍率キャリブレーション可能
- 複数のJEM-ACE200Fで取得したデータを自動測長可能
遠隔操作
- 隣室オペレーション
- 遠隔地オペレーションおよび複数地点同時観察 (ネットワーク環境に依存)
- 複数事業所とディスカッションしながら同時観察可能
鏡筒エンクロージャーによる耐環境性能向上
- 騒音、気流、室温変化の抑制に寄与
- 内壁に吸音材を装着して、更なる防音対策可能
Analysis instruments からAnalysis toolへ
-STEM/TEM解析を自動化し、プロセス改善、品質管理の安定的な向上に役立ちます-

関連リンク
- ニュースリリース
ハイスループット解析電子顕微鏡JEM-ACE200Fを販売開始
仕様/オプション SPEC / OPTION
TEM分解能(200kV時) | 粒子像 ≤0.21nm 格子像 0.1nm インフォメーションリミット ≤0.11nm |
STEM分解能(200kV時) | 暗視野透過電子走査像 ≤0.136nm 収差補正(オプション)時 ≤0.1nm 明視野透過電子走査像 ≤0.136nm 収差補正(オプション)時 ≤0.1nm |
電子銃 | 冷陰極電界放出形電子銃 (CFEG) |
加速電圧 | 60kV~200kV (200kV,80kV標準対応、その他の加速電圧は別途オプション) |
試料移動 | X,Y ±1.0mm Z ±0.2mm |
試料傾斜角 | TX/TY (二軸傾斜ホルダー) ±20°/±25° TX (専用高傾斜ホルダー) ±80° |
オプション | JEOL100mm2 SDD(Dual)、EELS、Cs corrector、Automation Center、Tomography |