JEM-ARM200F NEOARM 原子分解能分析電子顕微鏡

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特長 STRONG POINT

"NEOARM"は、当社独自の技術で開発された冷陰極電界放出形電子銃（Cold-FEG）と高次の収差まで補正可能な新型球面収差補正装置（ASCOR）を標準搭載し、200 kVの高加速電圧だけでなく30 kVの低加速電圧においても原子分解能での観察を実現しました。
また、当社独自の収差補正アルゴリズムを開発し高速かつ正確な収差補正を自動的に行うシステムを搭載しました。これにより、ハイスループットな原子分解能観察を提供します。
さらに、加速電圧によらず高い軽元素のコントラストが得られる新型STEM検出器を搭載しました。これにより軽元素のコントラストを向上させゆく新たなSTEMイメージング手法（e-ABF法）が可能となり、軽元素を含む材料の明瞭なコントラスト観察が容易になります。
昨今、主流となっておりますリモート操作のご要求に応えるため、本体と操作卓を分離し当社の新しいコンセプトカラーであるピュアホワイトとJEOLシルバーを採用し、より洗練されたフォルムデザインに仕上がりました。

特長5Viewing Cameraシステム

特長 1

球面収差補正装置ASCOR (Advanced STEM corrector)

"NEOARM"に搭載されたASCORは、従来の補正装置において分解能を制限する主要因であった高次収差 (6回非点収差) を補正することができます。
ASCORとCold-FEGとの組合わせは、高加速電圧から低加速電圧まで、幅広い加速電圧において高い原子分解能を実現します。

GaN [211]:200 kV

Si [110]:80 kV

Graphene (mono layer):30 kV

* STEM image by UHR cofiguration

200kV、80kV、30kVでの原子分解能STEM-ADF像とFFTパターン、およびロンチグラム像。

特長 2

自動収差補正ソフトウェアJEOL COSMO™ (Corrector System Module)

JEOL COSMO™は、新しい収差アルゴリズム (SRAM： Segmented Ronchigram Auto-correction function Matrix) を採用したことにより、収差補正のための標準試料に入れ替えなくとも、高次の収差まで高精度かつ迅速に補正することが可能です。
一般的な補正アルゴリズムと比較し高速な処理が可能であり、操作も自動化されていますので、お客様のワークフローを複雑にすることなく、ハイスループットで流れるような高分解能観察や各種元素分析を実現します。

サンプル: Si[110]
加速電圧: 200 kV

特長 3

新ABF (Annular Bright Field) 検出器システム

ABF検出器は、軽元素の高分解能観察に有効な手法として広く使われるようになってきています。
"NEOARM"では、軽元素のコントラストをさらに向上させる新しいABFイメージング法 (e-ABF：enhanced ABF) ABFに対応しました。これにより、軽元素を含む材料の原子レベルでの構造観察が容易になります。

軽元素位置のコントラストが向上します。

Reference: S.D. Findlay, Y.Kohno, L.A. Cardamone, Y.Ikuhara, N.Shibata, Ultramicroscopy 136(2014)31-41.

特長 4

Perfect sight検出器

パーフェクトサイト (Perfect sight) 検出器は、異種材料から成るシンチレーターを採用したハイブリッド検出器です。
"NEOARM"は、この検出器を搭載しており、加速電圧によらず常に高コントラストと定量性のあるSTEM像を得ることが可能となりました。

特長 5

Viewing Cameraシステム

"NEOARM"はViewing Cameraシステムが標準搭載され、リモート操作を想定し設計されたデュアルカメラによる像観察システムです。
これにより別室でのリモート操作が可能となり、柔軟にフレキシブルな操作環境の配置を実現します。顕微鏡外観はピュアホワイトとJEOLシルバーが室内に映える、洗練されたフォルムデザインを採用しました。

仕様／オプション SPEC / OPTION

分解能^*1	STEM HAADF 像　70 pm (200 kV)、100 pm (80 kV)、160 pm (30 kV) TEM 情報限界　100 pm (200 kV)、110 pm (80 kV)、250 pm (30 kV)
電子銃	冷陰極電界放出形電子銃 – 標準搭載
収差補正装置	STEM: NEO ASCOR HOAC^2、TEM: CETCOR with DSS^3
収差補正装置自動調整システム	NEO JEOL COSMO™ 自動収差補正システム、その場チューニングシステム（SIAM）標準組込
加速電圧	30 ～ 200 kV（ 30、80、200 kV – 標準、60、120 kV –オプション）
磁場フリーモード	ローレンツ・倍率設定モード ( 画面上 ×50 ～ 80 k) – 標準搭載
試料移動機構	X,Y,Z スーパーファイン機械駆動、ウルトラファイン・ピエゾ素子駆動 – 標準搭載
操作	RDS^*4 操作