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特長 STRONG POINT

JEM-ARM300F2 GRAND ARM™2 原子分解能分析電子顕微鏡

原子分解能電子顕微鏡JEM-ARM300F "GRAND ARM™" をさらに進化させ、低加速から高加速までさまざまな加速電圧にて、超高空間分解能観察と高感度分析を両立させた原子分解能分析電子顕微鏡登場!

超高空間分解能と高感度X線分析を両立させた
対物レンズポールピースFHP2を新開発

超高空間分解能観察用対物レンズポールピース・FHPがさらに進化しました

  • 超高空間分解能を維持したまま、高感度X線分析が可能です。
    旧FHPと比べ、2倍以上のX線検出感度(1.4sr(ステラジアン))を実現しました。
  • 低色収差&低球面収差係数の光学定数により、高加速から低加速まで、さまざまな加速電圧で超高空間分解能と高感度X線分析が可能です。
    (STEM保証分解能:53pm @300kV、 96pm @80kV)*
*STEM収差補正装置を搭載した場合

超高感度X線分析、さまざまなその場観察実験を可能にする
対物レンズポールピースWGP

ポールピースの上極と下極の隙間(ギャップ)が大きいWGPも搭載可能です

ギャップの大きいWGPでは、
  • 大面積SDDをさらに試料に近づけることができ、超高感度のX線分析が可能です(立体角2.2sr)。
  • 厚い特殊試料ホルダーも挿入することができ、さまざまなその場観察等の実験を行うことができます。

JEOL製球面収差補正装置&収差補正制御システム

自社開発球面収差補正装置ETAコレクターを搭載可能です

FHP2と組み合わせることで、STEM空間分解能 53pm、
WGPと組み合わせることで、STEM空間分解能 59pmを実現しました (@300kV)。
JEOL製収差補正制御システムJEOL COSMO™により、簡便かつ高速に収差補正が可能です。

冷陰極電界放出形電子銃(Cold-FEG)を標準装備

エネルギー幅の小さな高安定Cold-FEGを標準装備しました

外部環境に左右されないエンクロージャーカバー採用

気流や室温変化、騒音といった外乱の影響を低減するエンクロージャーカバーを標準構成しました

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カタログ

仕様/オプション SPEC / OPTION

本体

バージョン 超高分解能構成 高分解能分析構成
対物レンズ
ポールピース
FHP2 WGP
標準加速電圧 300kVおよび80kV
電子銃 冷陰極電界放出形電子銃
STEM分解能 300kV / 80kV STEMコレクター搭載時
53pm / 96pm  59pm / 111pm 
TEM分解能 300 kV / 80 kV TEMコレクター搭載時
格子分解能 50pm / - 格子分解能 60pm / -
非線形情報限界
60pm / 90pm 
非線形情報限界
70pm / 100pm 
線形情報限界
90pm / 160pm 
線形情報限界
100pm / 170pm
最大試料
傾斜角
分析用2軸傾斜試料ホルダー使用時
X:± 30°/ Y:± 27° X:± 36°/ Y:± 31°
高傾斜試料ホルダー使用時
X:± 90° X:± 90°

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