JSM-7800FPRIME ショットキ―電界放出形走査電子顕微鏡

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特長 STRONG POINT

JSM-7800FPRIMEは新開発の超高分解能GENTLEBEAM™ (GBSH) を搭載することにより世界最高峰の分解能を実現しています。また、インレンズショットキーPlus 電界放出形電子銃により、最大照射電流は200nAから500nAに向上しました。

インレンズショットキーPlus 電界放出形電子銃

電子銃と低収差コンデンサーレンズの最適化により、高輝度化を実現いたしました。電子銃から発生する電子を効率よく集めることで、低加速電圧においても数 pA～数10 nA の照射電流が得られます。このため、最小対物絞りのまま、高分解能観察から高速度 EDS、WDS マッピングやEBSD分析をナノスケールで可能としました。

GBSH(GENTLEBEAM™ Super High Resolution)による表面観察

従来のGENTLEBEAM™ (GB) ^※を改良し、さらに高い電圧を試料に印加する事により、低加速電圧で超高分解能画像が得られます。 GBSHは試料最表面観察からナノスケールの分析まで多岐にわたる応用に合わせて加速電圧を選択することができます。

※GENTLEBEAM™ (GB)とは試料にバイアス電圧を印加することにより、入射電子に対しては減速、放出電子に対しては加速の作用をもたらします。

GENTLEBEAM™(GB)による最表面観察

試料にバイアス電圧を印加することにより(GB)、入射電子に対しては減速、放出電子に対しては加速の作用をもたらします。低い試料到達エネルギーにおいても高分解能でSN比の良い画像が取得可能です。より高いバイアス電圧を印加できるGBモードを用いれば数10 eVの試料到達エネルギーにおいて、さらに高分解能観察が可能です。

複数の検出器による試料のあらゆる情報取得

JSM-7800FPRIME は上方検出器(UED)と上方二次電子検出器(USD)、反射電子検出器(BED)と下方検出器(LED)の4種類の検出器を備えることができます。UEDはフィルタの電圧に応じて二次電子と反射電子の量を変更できるため、電子のエネルギー選別が可能になります。USDはフィルタによって跳ね返された低いエネルギーの電子を検出します。BEDでは低角度の反射電子検出により、チャネリングコントラストが明瞭に観察できます。LEDでは照明効果による凹凸情報を含んだ立体感のある画像が得られます。

仕様／オプション SPEC / OPTION

分解能	0.7 nm (15 kV)、0.7 nm (1 kV)、 3.0 nm (5 kV、WD10 mm、5 nA)
倍率	×25～×1,000,000(SEM)
加速電圧	0.01 kV～30 kV
試料照射電流(プローブ電流)	数 pA～500 nA
開き角自動最適化レンズ	組込み
検出器	上方検出器(UED) 下方検出器(LED)
エネルギーフィルター	UEDフィルター電圧可変機能組込み
ジェントルビーム(試料バイアス)	組込み
デジタル画像	1,280×960画素、800×600画素
試料交換室	TYPE2Aを構成
試料ステージ	フルユーセントリックゴニオメーター、5軸モーター駆動
X-Y	X：70mm、Y：50mm
傾斜	－5 ～ +70°
回転	360°
作動距離	2 mm～25 mm
排気系	SIP 2台、TMP、RP
省エネ設計	定常稼働時: 1.1 kVA 省エネルギーモード時: 0.8 kVA