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特長 STRONG POINT

JSM-IT100  InTouchScope™  走査電子顕微鏡
JSM-IT100は、日本電子が50年にわたり培ってきたSEMの技術を活かしたコンパクトで多機能な走査電子顕微鏡です。
本装置は、InTouchScope™シリーズで好評を得てきた操作性に加え、上位機種と同様の拡張性を備えたスタンダード機として開発されました。バイオテクノロジーやナノテクノロジーの分野をはじめとして、材料開発、検査、評価、欠陥解析、さらには品質管理に至るまであらゆる分野のニーズでご利用いただけます。

「InTouchScope™」は、2010年の販売開始以来、世界中のお客様にご利用頂いており、累計出荷台数が1,000台を超えるタングステンSEMのベストセラー機です。

タッチパネル操作により直感的で快適な操作が可能

  • タッチパネル採用で、直感的に操作できます。
  • オペレーションパネル*、マウスでの操作も可能で、ユーザーの好みに合わせた選択が可能です。

初心者でも分かりやすい操作手順を実現

  • ワンタッチでSEM/EDSの切換が行える完全インテグレーションされたGUIを搭載しているので、観察から元素分析まで同一ウィンドウで操作ができます。一貫とした操作手順で初心者の方にも簡単・安心に操作いただけます。
  • 試料交換ナビは順番通りにボタンを押すことで試料交換がスムーズにできます。
  • モーター駆動ステージ*とステージナビゲーションシステム*を装着することで視野探しが光学顕微鏡の感覚で行えます。
  • EDSガイド搭載で元素分析の操作をアシストします。

上位機種と同様なオプション装着が可能なオールインワンSEM

  • 低真空機能を搭載することで、非導電性試料も前処理なしで観察・分析が行えます。
  • 低真空観察や元素分析にとどまらず5軸モーター駆動ステージ*が搭載可能になったほか、加速電圧を30kVまで拡張するオプションも選択可能です。*

エリア分析や線分析等のEDS機能を拡充

  • 日本電子製EDSを搭載し、同一ウィンドウでSEM/EDSの切換が可能な完全インテグレーションGUIを実現しました。
  • InTouchScope™シリーズのEDS機能にエリア分析、線分析やリアルタイムフィルター機能を拡充しました。

省設置スペースのうえ、電源は100Vコンセントのみ、冷却水不要のため設置が容易

  • 当社従来機種に比べて、設置面積を約30%削減し、卓上SEM並のスペースに設置することが可能になりました。
  • 電源は100Vコンセントで使用可能。冷却水も不要のため、設置が容易で場所を選びません。
* オプション

仕様 SPEC

分解能 高真空モード: 3 nm(30 kV *1) 4 nm(20 kV)、8 nm(3 kV) 15 nm(1 kV)
低真空モード*2: 4 nm(30 kV *1) 5 nm(20kV)
倍率 × 5 ~× 300,000(画像サイズ128 mm × 96 mmにて) 
低真空圧力 10 ~ 100 Pa
加速電圧 0.5 kV ~ 30 kV *1 (53 段)
0.5 kV ~ 20 kV (43 段)
フィラメント プリセンタードヘアピン型タングステン
電子銃 完全自動、手動調整可能
コンデンサレンズ 電磁2段ズームコンデンサレンズ方式
対物レンズ コニカルレンズ
対物絞り 1段、XY微調整つき
非点メモリ 有り
試料ステージ ユーセントリックステージ
X : 80 mm
Y : 40 mm
Z : 5 mm ~ 48 mm
傾斜: -10°~ + 90°、回転: 360°
最大試料寸法 150 mm径
ファイル形式 BMP、TIFF、JPEG
EDS機能*3 スペクトル分析、定性・定量分析、水平ライン分析、多点線分析、元素マップ分析、プローブトラッキング
コンピュータ デスクトップタッチパネルPC
OS Windows®7
モニター 23形タッチパネル
標準レシピ  あり
カスタムレシピ 観察条件、試料ステージ、真空モード
自動機能 フィラメント調整、アライメント調整、
フォーカス、非点、露出調整
排気系 完全自動、TMP : 1台、RP : 1台
脚注:Windows は、米国 Microsoft Corporation の、米国およびその他の国における登録商標または商標です。

主なオプション

  • 加速電圧拡張キット
  • 低真空二次電子検出器
  • ステージナビゲーションシステム*4
  • チャンバースコープ
  • オペレーションパネル
  • 可動絞り
  • モーター駆動ステージ(2 軸、XYZ3 軸、XYR3 軸、5軸 駆動)
  • 大口径ドライSDD検出器 (30mm、60mm、100mm)
  • 三次元画像ソフトウェア(3D Sight)
  • テーブル(800mm 幅、800mm 幅)

*1 : 加速電圧拡張キット装着時
*2 : 低真空キット装着時
*3 : JSM-IT100 (A)/(LA) に標準
*4 : モーター駆動ステージ装着時

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