JSM-IT800 電界放出形走査電子顕微鏡

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特長 STRONG POINT

JSM-IT800 電界放出形走査電子顕微鏡
 経営サポート対象 

JSM-IT800は、これまで日本電子が開発してきた、高分解能観察から高速度元素マッピングまで可能な "インレンズショットキーPlus電界放出形電子銃"、次世代型電子光学制御システム "Neo Engine"、EDSとフルインテグレーションし、使いやすさを追求したGUI "SEM Center" を共通のプラットフォームとしています。また、SEMの対物レンズをモジュールとして置き換えることで、お客様の様々なニーズに応じた装置を提供します。

JSM-IT800には、対物レンズの違いにより、汎用FE-SEMであるハイブリッドレンズバージョン (HLバージョン) と、より高分解能観察や分析を目的とするスーパーハイブリッドレンズバージョン (SHLバージョン) が存在します。SHLバージョンには新たな検出器UHD (上方ハイブリッド検出器) を標準搭載することにより、これまで以上に高S/Nの画像取得が可能で、容易な観察を実現します。

また、新しい反射電子検出器であるシンチレーター反射電子検出器（SBED）と多目的反射電子検出器（VBED）を搭載しました。SBEDでは応答性の良い、低加速電圧での材料コントラスト像の取得、VBEDでは、3D、凹凸、材料コントラスト像の取得が可能です。

インレンズショットキーPlus 電界放出電子銃(FEG)

電子銃と低収差コンデンサーレンズの融合により高輝度化を実現しました。低加速電圧でも十分な照射電流が得られ（100nA@5kV）、対物レンズの切り替えなしで高分解能観察から高速元素マッピング、EBSD分析や軟X線分析まで行えます。

In-Lens Shottky Plus Field Emission Election Gun

Neo Engine (New Electron Optical Engine)

JEOLの電子光学技術の粋を集めた次世代型電子光学制御システムを搭載しました。
条件変更時でも安定した観察が可能です。また、オート機能等の使い勝手の大幅な向上も実現しました。

AFS・ACB

オート前
NeoEngine (New Electron Optical Engine)　オート前
オート後
NeoEngine (New Electron Optical Engine)　オート後
試料：カーボン上の錫ナノ粒子
入射電圧: 15 kV, WD: 2 mm, 観察モード: BD, 検出器: UED, 倍率: x200,000

SEM Center・EDSインテグレーション

操作GUI「SEM Center」とEDS分析をフルインテグレーションし、次世代の操作性を実現しました。さらに、初心者にSEM操作方法をアシストするスマイルナビ（オプション）や、ライブ像をみやすくするLIVE-AI（人工知能）フィルター（Live Image Visual Enhancer-AI:LIVE-AI)（オプション）も搭載しました。

SEM center・EDSインテグレーション

SMILE VIEW™ Lab

取得データを一元管理できるSMILE VIEW™ Labにより、観察から分析まで全データのレポートを素早く簡単に作成できます。

SMILE VIEW(TM) Lab

スマイルナビ

装置を使用するのがはじめての方や使用に対して不安がある方でも、基本操作が問題なくできるよう設計されたアシストツールです。
説明に従いスマイルナビ内のアイコンをクリックするとSEMの操作画面が連動します。必要な操作手順やボタンの配置をSEMの操作画面に対して示してくれるため、将来的にスマイルナビなしでの操作の習得が期待できます。
(本機能はオプションです。)

スマイルナビ

新機能 LIVE-AIフィルター (Live Image Visual Enhancer-AI)

ライブ像をみやすくする新開発のLIVE-AI (人工知能)フィルターを搭載しました。 積算処理と異なり残像がなく追従性の良いライブ像を表示できるため、視野探しやフォーカス、非点の調整に非常に有効なフィルターです。
(本機能はオプションです。)

ライブ像の比較

LIVE-AIフィルター (Live Image Visual Enhancer-AI) 蟻の表面
試料：蟻の外骨格、入射電圧：0.5kV、検出器：SED
LIVE-AIフィルター (Live Image Visual Enhancer-AI)　鉄さび
試料：鉄のさび、入射電圧：1kV、検出器：SED

ハイブリットレンズバージョン (HLバージョン、HL；Hybrid Lens) /
スーパーハイブリッドレンズバージョン (SHLバージョン、SHL；Super Hybrid Lens)

電磁場重畳型対物レンズをベースとした2つタイプの対物レンズを設定し、お客様の様々なニーズに応じた2種類の装置を提供します。これにより、磁性体から絶縁体まで、さまざまな試料を高空間分解能で観察・分析することができます。

ハイブリッドレンズ/HL (Hybrid Lens)

上方ハイブリッド検出器（UHD；Upper Hybrid Detector）

SHLバージョンの対物レンズの中に搭載された新検出器UHDにより、試料から発生した電子の検出効率が大幅に向上し、高S/Nな像取得ができます。

UHD(上方ハイブリッド検出器)

UHD(上方ハイブリッド検出器)

UHDを用いた高空間分解能観察例

アルミナ粒子
試料：アルミナ粒子、入射電圧：0.5 kV、観察モード：BD、検出器：UHD 試料表面にある数nmの微細なステップ構造が観察できます。※SHLバージョンで撮影
アルミべーマイト
試料：アルミべーマイト、入射電圧：0.3 kV、観察モード：BD、検出器：UHD
薄いシート状の試料の表面構造を明瞭に観察できます。※SHLバージョンで撮影
セルロースナノファイバー（CNF）
試料：セルロースナノファイバー（CNF）、入射電圧：0.2 kV、観察モード：BD、検出器：UHD+UED（加算モード）
試料提供：京都⼤学生存圏研究所教授 矢野 浩之様 有機繊維であっても電子線によるダメージを抑えて観察できます。※SHLバージョンで撮影
酸化セリウム
試料：酸化セリウム、入射電圧：1.0 kV (試料バイアスなし)、観察モード：SHL、検出器：UHD
試料提供：名古屋⼤学教授　高見 誠一様　酸化セリウム結晶の表面構造を観察することができます。
ICチップ断面（表面エッチング）
試料：ICチップ断面（表面エッチング）、入射電圧：5.0 kV（試料バイアスなし）、観察モード：SHL、検出器：UHD, UED（反射電子モード）
UHDで二次電子像、UEDで反射電子像を観察できます。

新しい反射電子検出器

新しい2種類の反射電子検出器（オプション）であるシンチレーター反射電子検出器 (SBED) は応答性に優れ、また低加速電圧での材料コントラスト像の取得に有利です。多目的反射電子検出器 (VBED)  は分割された検出素子形状により、3Dや凹凸など特色ある画像を取得できます。

SBED (シンチレーター反射電子検出器)画像

検出器にシンチレーターを用いることで、半導体素子よりも検出感度および応答性が向上しました。

マウス小脳の超薄切片（コントラスト反転）
試料: マウス腎臓の超薄切片(コントラスト反転)
入射電圧: 5.0kV、スキャン速度0.04 μsec/pixel
5,120 × 3,840 画素で取得。
トナー
試料: トナー、入射電圧: 1.5kV
鋼板（転位の観察）
試料: 鋼板(転位の観察)、入射電圧:　25kV

VBED (多目的反射電子検出器)画像

5分割の半導体型検出素子により、観察目的に応じて信号を選別することができます。

角度選別

シンチレータ
試料: 蛍光体、入射電圧: 3.0kV

三次元再構築

CCD素子のオンチップマイクロレンズ
試料: CCD素子のオンチップマイクロレンズ、入射電圧: 7.0kV

4方向から取得した二次元像を用いて三次元像を再構築することができます。

関連リンク

カタログ

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特殊試料ホルダーのご案内

特殊試料ホルダー
専用の試料ホルダーに関する詳しい内容をご覧いただけます。

仕様／オプション SPEC / OPTION

仕様

JSM-IT800 (SHLバージョン) JSM-IT800 (SHLsバージョン) JSM-IT800 (HLバージョン)
分解能 0.5 nm (15 kV) 0.6 nm（15 kV） 0.7 nm (20 kV)
0.7 nm (1 kV) 1.1 nm（1 kV） 1.3 nm (1 kV)
0.9 nm (500 V) 3.0 nm（15 kV, 5 nA, WD 10 mm） 3.0 nm (15 kV, 5 nA, WD 10 mm)
3.0 nm (5 kV, 5 nA, WD 10 mm)
倍率 写真倍率 : × 10 - × 2,000,000 (128 × 96 mm 表示時)
表示倍率 : × 27 - × 5,480,000 (1,280 × 960 画素表示時)		 写真倍率 : × 10 - × 2,000,000 (128 × 96 mm 表示時)
表示倍率 : × 27 - × 5,480,000 (1,280 × 960 画素表示時)		 写真倍率 : × 10 - × 1,000,000 (128 × 96 mm 表示時)
表示倍率 : × 27 - × 2,740,000 (1,280 × 960 画素表示時)
加速電圧 0.01～30 kV 0.01～30 kV 0.01 ～ 30 kV
照射電流 数 pA～500 nA (30 kV)
数 pA～100 nA (5 kV)		 数 pA～500 nA (30 kV)
数 pA～100 nA (5 kV)		 数 pA～300 nA (30 kV)
数 pA～100 nA (5 kV)
標準検出器 二次電子検出器 (SED)
上方ハイブリッド検出器 (UHD)		 二次電子検出器 (SED)
上方ハイブリッド検出器 (UHD)		 二次電子検出器 (SED)
上方電子検出器 (UED)
電子銃 インレンズショットキーPlus電界放出電子銃 インレンズショットキーPlus電界放出電子銃 インレンズショットキーPlus電界放出電子銃
開き角最適化レンズ (ACL) 組込み 組込み 組込み
対物レンズ スーパーハイブリッドレンズ/SHL スーパーハイブリッドレンズ/SHL ハイブリッドレンズ/HL
試料ステージ フルユーセントリックゴニオメーターステージ フルユーセントリックゴニオメーターステージ フルユーセントリックゴニオメーターステージ
試料移動 X: 70 mm、Y: 50 mm、Z: 1～41 mm
傾斜: -5～70°
回転: 360°		 X: 70 mm、Y: 50 mm、Z: 1～41 mm
傾斜: -5～70°
回転: 360°		 X: 70 mm Y: 50 mm Z: 2 - 41 mm
傾斜: -5～70°
回転: 360°
モーター制御 5軸モーター制御 5軸モーター制御 5軸モーター制御
試料サイズ (ドローアウト) 最大径: 170 mm
最大高さ: 45 mm (WD 5 mm)		 最大径: 170 mm
最大高さ: 45 mm (WD 5 mm)		 最大径: 170 mm
最大高さ: 45 mm (WD 5 mm)
長焦点距離 (LDF)モード 組込み 組込み 組込み
試料交換室 組込み オプション オプション

検出器詳細(ドライSD™検出器仕様)　

検出素子面積 60 mm2
エネルギー分解能 133 eV 以下
検出可能元素 B～U
データ管理機能 / レポート SMILE VIEW™ Lab

主要なオプション

  • 上方電子検出器 (UED) *SHL、SHLsのみ
  • 上方二次電子検出器 (USD) *HLのみ
  • 反射電子検出器 (BED)
  • シンチレータ反射電子検出器（SBED)
  • 多目的反射電子検出器（VBED)
  • 透過電子検出器（TED)
  • 低真空機能 （低真空反射電子検出器（LVBED）含む)
  • 低真空二次電子検出器 (LVSED)
  • 後方散乱電子回折 (EBSD)
  • 波長分散形X線分析装置 (WDS)
  • 軟X線分光器 (SXES)
  • プローブ電流検出器
  • 試料交換室 (*SHLs、HLのみ)
  • ステージナビゲーションシステム
  • 試料室カメラ
  • 操作テーブル
  • オペレーションパネル
  • トラックボール
  • スマイルナビ
  • モンタージュ
  • ライブマップ
  • LIVE-AIフィルター
  • SMILE VIEW™ Map

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