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特長 STRONG POINT

JST-F series 電子銃電源
偏向型電子銃と組み合わせて使用する電子ビーム蒸着用の高圧電源です。

JST-Fシリーズは、非常に多くの納入実績を有し、安定性に優れています。

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仕様/オプション SPEC / OPTION

型式 JST3F JST-10F JST-16F
出力 最大出力 6.4kW 10kW 16kW
加速電圧可変 -4kV~-8kV -4kV~-10kV
エミッション電流 0~0.8A 0~1A 0~1.6A
フィラメント電流 最大40A
加速電圧リップル含有率 5%以下 (最大出力時)
偏向コイル出力 0~2A
走査コイル出力 最大周波数500Hz (※)、最大出力 8Ap-p、±2 A DC
インターロック 外部:3点、内部:5点
外部信号 INPUT:16種、OUTPUT:9種
入力電源(50/60Hz) 3相 200V±10%、10kVA 3相 200V±10%、15kVA 3相 200V±10%、25kVA
外形寸法 電源本体 570mm(W)×760mm(D)×1,545mm(H)
操作盤 481mm(W)×300mm(D)×150mm(H)
質量 約360kg 約390kg 約450kg
接地 A種接地 (接地抵抗Ω以下)

アタッチメント

ST-AS10F / ST-AS10G 放電抑止装置

電子ビーム蒸着時の異常放電を抑止します。放電時のノイズを抑止し蒸着の中断を防ぎます。ST-AS10Fは2段階、ST-AS10Gは1段階の放電抑止回路となります。

ST-AS10G
ST-AS10G
型式 ST-AS10F ST-AS10G
適応可能な加速電圧・電流 -4kV 〜 -10kV 1.6A 以下
動作圧力 6 × 10-2 Pa 以下
電子ビームの中断時間 0.5ms 以下 ※ 0.1ms 以下
復帰時の加速電圧オーバーシュート 20% 以内・3ms 以内
放電時の整流器波の増加電流 1A、100μS 以下
※二段階目まで動作時の遮断時間

ST-203 電子銃同時使用装置

1台の電源で2台の電子銃を同時に使用する場合に用います。操作盤は2台となり、それぞれの電子銃の専用操作盤となります。
※電子銃は異種も使用可能ですが、電子銃の組み合わせによっては加速電圧の範囲等制限を受ける場合があります。

ST-EXTSIG 外部信号コントロール

操作盤に組み込み、標準の外部出力信号9種に加えて、エミッション電流確認信号等の各種信号を外部へ出力可能にします。

ケーブル構成

JST-Fシリーズ ケーブル構成
分類 名称 型式 長さ
W1
W2
W8
E1/E2/ アース BS-64410L06W128 6m
ST-10MW128 10m
ST-15MW128 15m
W3
W4
コイル / 高圧(2 本) BS-64420L06W34 6.5m / 5.5m
ST-10MW34 10m
ST15MW34 15m
W5 エミッションリターン BS-64430L06W5 5.5m
ST-10MW5 10m
ST-15MW5 15m
W6
W7
インターロック / ガン ON BS-64440L06W67 6m
ST-10MW67 10m
BS-64540L15W67 15m
W9 リモート BS-64450L06W9 6m
ST-10MW9 10m
ST-15MW9 15m

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