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特長 STRONG POINT

RF-340 series 自動整合装置
プラズマ発生用 13.56MHz 高周波電源と組み合わせて負荷とのマッチングを取るための自動整合装置
(マッチングボックス + コントローラ) です。

機能

  • プリセット (8 ポイント)
    マッチングが取れたポイントにおいて各バリコン位置を記憶
  • オートプリセット
    出力ゼロ時にバリコンをプリセット位置へ駆動させ、RFが出力されたらオート動作
  • オートディレイ
    アーク放電等の急な負荷変動には反応せず、設定した経過時間後にオート動作
  • バリコン位置表示
  • バリコン駆動範囲設定
    オート動作時のバリコンの駆動範囲を制限
  • Vdc表示
  • Vdcメーターリレー
  • Vdc安定化制御
  • Vpp表示
  • Vppメーターリレー
  • 負荷インピーダンス表示
    マッチングが取れたときのプラズマインピーダンスを計算し表示
  • CEマーク適合(一部機種除く)

仕様 SPEC

マッチングボックス
RF-34021 RF-34031 RF-34041
許容通過電力 1.5kW 3kW 6kW
入力コネクタ N 型 LS2 型
周波数 13.56MHz
入力インピーダンス 50 Ω
ファン電源 DC 24V (コントローラより給電)
マッチングバリコン 真空バリコン
チューニングバリコン 真空バリコン
残留反射電力 入力電力の 10%以内
冷却方式 水冷 (2~3L/min) 水冷 (2.5~3L/min)
外形寸法 (mm) 370 470
奥行き 300 370
高さ 205 246
質量 (kg) 15 19
コントローラ
入力電源 DC 24V, 4A(別途必要)
外形寸法 (mm) 140 (幅) × 305 (奥行き) × 145 (高さ)
制御方式 デジタル制御
質量 1.5kg

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