SXES (Soft X-Ray Emission Spectrometer)　軟X線分光器

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SXES (Soft X-Ray Emission Spectrometer)　軟X線分光器

軟Ｘ線分光器 (SXES ：Soft X-Ray Emission Spectrometer) は、新開発の回折格子と高感度Ｘ線CCDカメラを組み合わせることにより、超高エネルギー分解能を実現したＸ線分光器です。
EDS同様にパラレル検出可能で、かつWDSが持つエネルギー分解能を超える0.3eV (Fermi端 Al-L基準) の超高エネルギー分解能分析が可能です。

動画紹介

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SXES (Soft X-Ray Emission Spectrometer)　軟X線分光器の特徴、機能についてご紹介しています。

システムの概要

新開発分光系デザインにより、回折格子や検出器 (CCD) を動かさずに異なるエネルギーのスペクトルを同時に測定できます。しかも高エネルギー分解能ですので、状態分析マップの収集が可能です。

SXES、WDS、EDSの比較

各分光器における窒化チタン試料のスペクトル

窒化チタンは、WDSにおいてもスペクトルが重畳し、波形分離に数学的手法が必要です。
下図のとおりSXESは高いエネルギー分解能を示します。

比較表

特長	SXES	EPMA(WDS)	EDS
分解能	0.3 eV (Fermi端 Al-L)	8 eV (FWHM@Fe-K)	120-130 eV (FWHM@Mn-K)
化学結合状態分析	可	可 (主に軽元素)	不可
パラレル検出	可	不可 (但し分光器の数分可)	可
分光素子と検出器	回折格子＋CCD	分光結晶＋比例計数管	SDD
検出器冷却	ペルチェ冷却	不要	ペルチェ冷却
検出限界 (Bでの参考値)	20ppm	100ppm	5000ppm

Liイオン2次電池 (LIB) 分析例

LIB充電量の可視化ができる！

Li-K満充試料部のスペクトル

軽元素測定例

炭素化合物のSXESによる測定例

ダイヤモンドとグラファイト、ポリマーの違いが測定可能です。

各種窒素化合物の測定例

窒素も波形より化学結合状態分析できます。硝酸塩と窒化物では全く波形が異なり、ビームに弱いアンモニウム塩も独特の波形が観察できます。

仕様 SPEC

主な仕様

エネルギー分解能 0.3eV (AI-L 発光スペクトル@73eV測定)
取得エネルギー範囲：回析格子JS50XLでエネルギー領域　50-170eV
取得エネルギー範囲：回析格子JS200Nでエネルギー領域　70-210eV
分光器チャンバー取り付け先： EPMAのWDSポート： NO.2ポート (正面右手前側)
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　FE-SEMのWDSポート（正面左手奥）
分光器寸法　W168mm×D348mm×H683mm　※インターフェイスからCCDを含む距離
分光器重量　25kg

適用機種