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特長 STRONG POINT

TP-40020NPS 高周波誘導熱プラズマナノ粒子合成装置
超高温・高純度・高化学反応場の熱プラズマを利用し、ナノ粒子の合成を始め化学反応や改質、複合化、球状化、結晶化など様々な実験が行える多目的実験装置です。
従来別置きであった各ユニットをワンパッケージ化し、コンパクトで手軽なシステムに仕上げました。

特長

  • アルゴンが主体の熱プラズマを発生します。
    酸素や窒素、水素ガス等を一緒に導入し、混合したプラズマを生成できます。
  • 超高温の熱プラズマ中に、微粉末などの原料を投入し、瞬時に蒸発や溶融、反応や改質が行えます。
  • 消耗電極がないコンタミレスの環境で、高純度の材料合成が行えます。

ナノ粒子合成例


平均粒径2~3μmのニッケル微粒子をナノ粒子化

平均粒径約1μmのシリコン微粒子をナノ粒子化

数種類のセラミックスが混ざった原料微粉末を、同時場でフラッシュ蒸発し、化合物のナノ粒子を合成

窒化物合成例


平均粒径約5μmのシリコン微粒子を窒化させ、平均粒径約100nmのSi3N4粒子を合成

複合粒子合成例


タングステン微粒子の表面に銅ナノ粒子を付着

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仕様 SPEC

  • 高周波電力 : 最大6kW
  • アルゴンを主体とした熱プラズマを発生
  • 動作圧力 : 約10~70kPa

ナノ粒子合成実験目安

  • 原料粉末種類 : 金属 / セラミックス等の無機材料
  • 原料粉末寸法 : 1~10μm程度  *1 *2
  • 粉末投入レート : 0.1~0.5g/min  *1 *2
  • *1 : 粉末の種類 / 形状 / 質量 / 状態によって異なります。
  • *2 : 表面改質や表面反応、球状化処理の場合は10μm以上の微粒子が使用できます。
       また1g/min以上のレートで処理ができます。

ユーティリティ

入力電源 3相  AC200V±5%  約50A
冷却水 約60L/min (水質:水道水程度)
入口圧0.3~0.4MPa / 出口圧0.1MPa以下
ガス Ar=max.50L/min (標準)  *3
O2=max. 5L/min (オプション)
N2=max. 5L/min (オプション)
H *4
キャリアガス=max. 10L/min (オプション)
接地 単独A種
  • *3 : 実用は約30~40L/min
  • *4 : 別途安全対策を含めた検討が必要です。

外形寸法

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