電子顕微鏡用高精度冷却水循環装置 enoaqua

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特長 STRONG POINT

～電子顕微鏡メーカーだからこそ実現できた、驚異の冷却水温安定度を、あなたの手に～

収差補正装置や各種分析アタッチメント等の搭載により、電子顕微鏡用冷却水循環装置には従来以上に冷却水温の長時間にわたる安定性と変動への素早い追従が求められています。電子顕微鏡を知り尽くしたJEOL が独自開発した高精度冷却水循環装置が「enoaqua」シリーズです。

enoaquaは、原子分解能電子顕微鏡用に開発した冷却水循環装置です。新開発の制御系により冷却水温の変動を極限まで抑えることで、電子光学条件に合わせた最適の冷却水温、昼夜問わず安定した冷却水の供給が可能です。弊社TEM実装状態で冷却水温の変動＝± 0.025°C / min、ドリフト＝ 0.01°C / h を実現^*1)します。
*1) 水温の変動、ドリフトは弊社定義によります。

動画

◆上のボックス内の再生ボタンをクリックするとムービーが始まります（約2分）◆

特長1

冷却水温変動によるTEM・STEM像のゆらぎを極限まで抑制します

新技術VTCC(Variable tri-cascade control) PAT.Pと独自開発したヒーターの採用により、冷却水温の変動を抑制し、安定した高分解能像観察を実現します。

「ゆらぎのない」鮮明な画像
試料(左)： Si₃N₄(HAADF STEM像) / 試料(右)： Graphen Mono Layer(HAADF STEM像)
使用装置:JEM-ARM300F GRAND ARM 原子分解能電子顕微鏡

従来機と比較して、圧倒的な水温安定性（TEM 実装状態）

特長2

加速電圧の変更等、冷却負荷条件の変化にもすばやく追従します

新技術VTCCにより、複数の冷却・加熱源を連動的に制御することで電子ビーム加速電圧の切替やレンズのON/OFFにともなう負荷熱量の変化に自動ですばやく対応します。

水温指示の変化と実際の冷却水温

特長3

カラータッチパネルで簡単操作

運転操作や各種条件設定は見やすく、操作しやすいLCDタッチパネルで行います。運転状況（冷却水温、ヒーター出力等）もリアルタイムで確認できます。

温度表示（PV, SV）

温度履歴表示（グラフ）

動作状態表示

エラー表示

特長4

運転履歴をSDカードに保存

冷却水温や、アラートなどチラーの運転履歴を内蔵メモリー(SD カード) に記録します。万が一のトラブルや、メンテナンス時のサービス対応がスムーズです。

温度データ出力例

ラインナップ

設置条件にあわせ、「空冷セパレート型」と「水冷一体型」を選択できます。

冷却能力	一次冷却方式	型式
4 kW	空冷セパレート型	DS-78640ACS
4 kW	水冷一体型	DS-78640WCI
6 kW	空冷セパレート型	DS-78660ACS
6 kW	水冷一体型	DS-78660WCI

カタログ

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設置環境対策

装置の最高のパフォーマンスを引き出すために、最新鋭の測定機器、豊富な経験とノウハウを駆使し、お客様の装置はもとより試料前処理室・特殊な部屋も最適な環境のトータルソリューションをご提供いたします。

設置環境対策

仕様／オプション SPEC / OPTION

enoaqua 適合表

冷却方式		空冷セパレート型		水冷一体型
冷却能力		6 kW	4 kW	6 kW	6 kW
型式		DS-78660ACS	DS-78640ACS	DS-78660WCI	DS-78640WCI
適用機種	JEM-ARM300F	●	-	●	-
	JEM-Z300FSC	●	-	●	-
	JEM-3200FS	●	-	●	-
	JEM-ARM200F	-	●	-	●
	JEM-Z200FSC	-	●	-	●
	JEM-2200FS	-	●	-	●
	JEM-F200	-	●	-	●
	JEM-2100Plus^＊1	-	●	-	●

^＊1 装置構成・アタッチメントにより 6kW　タイプが必要となる場合があります。詳細につきましては、お問合せ下さい。

仕様(DS-78660WCI)

冷却タイプ	水冷一体型
冷却能力	6 kW
送水量	20 L / min
冷却水温度設定範囲	+15 〜 +25°C
冷却水温変動 (装置実装状態)	± 0.025°C / min
冷却水温ドリフト (装置実装状態)	0.01°C / h
騒音レベル	60 dB(C) 以下
外形寸法	1,350 mm(高さ) × 550 mm(幅) × 775 mm(奥行)
安全・法規	CE マーキング

設置条件

電源電圧	3相 AC200V ± 10[%]/50/60Hz (相関バランス< ± 3%)
皮相電力	6 kVA
1 次冷却水 ( 水冷一体型の場合） (20°C～30°C)	20°Cの時、15 L/min 30°Cの時、25 L/min
設置室温	+5～+30°C
設置室湿度	<70%（結露なきこと）
循環水	蒸留水