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特長 STRONG POINT

EST-L6H-4700-01 NEOARM用アクティブ除振システム

アクティブ除振システムEST-L6H-4700-01は、エアマウントを基本として高精度の振動センサーとリニアモーター型のアクチュエーター、デジタルコントローラーを組み込むことにより、1~20Hzの周波数領域で最大-30dBの減衰率を達成しております。
また、EST-L6H-4700-01に標準装備されるフロアフィードフォワード(FFF)機能により、他の機械類や装置等が発生する大きな定常振動が存在する設置条件においても高水準の減衰性能を確保いたします。

  • 3方向(水平垂直)高精度センサー
  • 6自由度フィードバック制御
  • フィードフォワード機能
  • 納入調整後はお客様による操作は不要

アクティブ除振システムの原理

装置ばね上に設置したセンサーで検知した振動に対し、逆向きの力をアクチュエーターより出力しばね上の振動を打ち消します。それにより、パッシブ除振において不可避な共振周波数での振動増幅を減衰することが可能になります。

アクティブ除振装置模式図

アクティブ除振装置模式図

振動伝達率

振動伝達率 (横軸:周波数、縦軸:倍率)

特記事項

  • 本除振台は事前に設置室床振動調査を実施した上で、導入可否の判定を行う必要があります。
  • 本仕様は改良等のため、予告なく変更することがあります。

カタログ

設置環境対策

装置の最高のパフォーマンスを引き出すために、最新鋭の測定機器、豊富な経験とノウハウを駆使し、お客様の装置はもとより試料前処理室・特殊な部屋も最適な環境のトータルソリューションをご提供いたします。

仕様/オプション SPEC / OPTION

仕様

最大許容荷重(装置本体、オプション含む) 2,000kg
所要空気圧力 0.55MPa
空圧ホース径 外径6mm
本体色(アクティブマウント)
空圧関連部品 標準装備
供給電圧・電流 85-260V 5.0A(MAX) ※接地極付3Pコンセント1口ご用意下さい

構成品

コントローラー 1台 130mm(D)× 150mm(W)× 62mm(H) 0.7kg
電源ユニット 1台 220mm(D)× 180mm(W)× 100mm(H) 3.0kg
アクティブマウント 4台 200mm(D)× 200mm(W)× 180mm(H) 25kg(1脚当たり)
センサードライバーボード 4個 120mm(D)× 43mm(W)× 110mm(H)
インターフェイスケーブル 4本 5m
電源ケーブルセット 1式 2m

特記事項

  • 本除振台は事前に設置室床振動調査を実施した上で、導入可否の判定を行う必要があります。
  • 本仕様は改良等のため、予告なく変更することがあります。

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