IoTクロスセクションポリッシャ™誕生
クロスセクションポリッシャ™ (CP) は、電子顕微鏡観察のための断面試料作製装置です。
イオンビームで試料の断面を加工するので、経験を必要とする研磨などの他手法に比べ、個人差が無く質の良い断面を短時間で得ることが可能です。
IB-19540CP/IB-19550CCPは、新GUIとIoT化により、さらに操作や状態確認が容易になり、ハイスループットイオンソースとハイスループット冷却システムにより短い時間で平滑な断面の作製が可能です。
特長
新GUIとIoT化 ～使い易さを追求した操作画面と遠隔操作～
新GUI採用により操作手順がわかりやすくなりました。
フローチャートに沿って加工条件が設定できます。
プリセット機能により、試料に合わせた加工条件の保存・呼び出しができます。
ネットワーク接続によりWebブラウザからCPにアクセスすることができます。
離れた場所から複数台の加工状況の確認や操作をすることができます。
ハイスループットイオンソース ～標準加工レート1,200 μm/h 以上～
イオンソース電極の最適化と高加速電圧化によって、イオン電流密度が向上したハイスループットイオンソースを標準装備しています。
試料: シリコンウエハー
イオンエネルギー: 10 keV、加工時間: 1時間
ハイスループット冷却システム ～冷却や常温復帰の自動化～
冷却から常温復帰までが自動で行えます。
また、冷却保持時間や試料冷却温度を維持できるように、装置側から液体窒素
タンク周りを真空排気できます。
-120°Cで8時間の加工ができます。
冷却用導体を挿抜して冷却温度を制御するため、液体窒素の消耗を抑えることができます。
液体窒素を入れたまま試料交換ができます。
仕様・オプション
製品カタログをご覧ください。
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IB-19540CP/IB-19550CCP クロスセクションポリッシャ™
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