使い勝手と効率を考えた高性能イオンビーム断面作製装置
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好評をいただいているクロスセクションポリッシャ(CP)で加工中の断面観察を可能にしました。
半導体材料や環境関連等あらゆる分野での研究・開発・品質管理の試料作製を支援します。
特長
表面に対して垂直な断面をCCDズームカメラでモニタすることにより加工時間の短縮が図れます。
出来栄えをモニタすることによって内部構造がリアルタイムに確認できます。
ピエゾバルブで最適アルゴンガス流量を簡単にコントロールできます。
高倍率CCDカメラ（オプション）を使用すると精度2μmの位置合わせが可能です。
回転試料ホルダ（オプション）を使用すると表面研磨も可能です。
ステージに搭載された遮蔽板とサンプルを一体に傾斜（スウィング）し、イオンビームによる試料加工を行なうことにより平滑な面をだすことができます。（日本電子特許）
仕様・オプション
| イオン加速電圧 | 2～6kV |
|---|---|
| イオンビーム径 | 500μm(半値幅) |
| ミリングスピード | 200μm/2H
(加速電圧：6kV、シリコン換算、エッジ距離 100μm) |
| 最大搭載試料サイズ | 幅11mm×長さ10mm×厚さ2mm |
| 試料移動範囲 | X軸：±3mm 、 Y軸：±3mm |
| 試料角度調節範囲 | ±5° |
| 使用ガス | アルゴンガス |
| 圧力測定 | ペニング真空計 |
| 主排気装置 | ターボ分子ポンプ |
寸法・質量
| 本体 | 380mm(W)×570mm(D)×520mm(H)、41kg |
|---|---|
| ロータリーポンプ | 150mm(W)×427mm(D)×230.5mm(H)、16kg |
| 液晶モニター | 323mm(W)×181mm(D)×344mm(H)、3.9kg |
| オプション | 試料回転ホルダ(SM-09011)
位置高精度CCDカメラ(IB-83910CCD) |
設置条件
| 電源 | 単相AC100～120V±10％、50/60Hz、0.5～0.6kVA |
|---|---|
| 接地端子 | D種接地(100Ω以下) |
| アルゴンガス | 使用圧力：0.15±0.05MPa（1.0～2.0kg/cm²）
純度99.9999％以上（アルゴンガス、ガスボンベおよびレギュレータはお客様準備） 金属配管接続口：JISB0203 RC 1/8 |
| 室温 | 20～25℃(変動1℃/h以内) |
| 湿度 | 60％以下 |
| 設置面積 | 800mm(幅)×700mm（奥行き)以上 |
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