液体窒素冷却ステージと凍結試料の試料搬送機構をFIB-SEMに搭載し、生体高分子などのTEM試料作製を可能にしたCRYO-FIB-SEMシステムです。
試料搬送機構にはスパッターコーティング機能を内蔵しており、本システムのみで導電性コーティング、保護膜形成、FIB加工という凍結試料からのTEM試料作製の一連の処理が可能です。
また、当社CRYO ARM™ カートリッジにより試料搬送を行えますので、TEM試料作製後のCRYO ARM™へ試料搬送をより容易に行えます。
特長
CRYO ARM™ カートリッジによるクライオ試料搬送
試料搬送はCRYO ARM™ カートリッジにより行います。カートリッジに試料メッシュ取り付け後はピンセットによる試料メッシュのハンドリングが不要ですので、確実かつハイスループットな試料搬送が行えます。
安定性の高い冷却ステージ
液体窒素熱伝導方式の冷却ステージを採用しました。これにより、冷却によるステージのドリフトと振動が低減され、確実なTEM試料作製が行えます。
独自のアンチコンタミネーションデバイス
アンチコンタミネーションデバイスを新たに開発し、試料室内のアイスコンタミネーションを低減しました。長時間の大量な試料作製においても、アイスコンタミネーションの影響を最小限に抑えます。
クライオ CLEM ワークフロー
Linkam Scientific Instruments社製のクライオステージ※と（株）ニコン社製の光学顕微鏡※により、CRYO ARM™ カートリッジを使用したクライオCLEM ワークフローを構築できます。各装置のステージ座標を リンケージできますので、装置間の試料搬送において試料の向きや位置を見失うことはありません。
仕様・オプション
| SEM | |
|---|---|
| 入射電圧 | 0.1 ～ 30.0 kV |
| ビーム電流 | 1 pA ～ 300 nA |
| 像分解能 | 1.6 nm (15 kV、WD 4 mm) 3.0 nm (2 kV、WD 8.5 mm) |
| FIB | |
|---|---|
| 加速電圧 | 1.0 ～ 30.0 kV |
| ビーム電流 | 1 pA ～ 90 nA |
| 像分解能 | 4.0 nm (30 kV) |
| 冷却ステージ | |
|---|---|
| 冷却方式 | 熱伝導冷却 |
| 使用冷媒 | 液体窒素 |
| 冷却温度 | ステージ：-160°C 以下 アンチコンタミネーションデバイス：-180°C 以下 |
| 冷却保持時間 | 13時間以上 |
| 移動範囲 | X：20 mm |
| Y：30 mm | |
| Z：4 ～ 40.5 mm | |
| T：-40 ～ 70° | |
| R：360° 以上 (-190 ～ 190°) | |
標準構成品
| 導電性コーティング | Ptスパッターコーティングを試料交換室に組み込み |
|---|---|
| アンチコンタミネーションデバイス | SEM鏡筒と試料室に組み込み |
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