特長
精密エッチングシステムPECS™Ⅱは、試料を加工するだけではなく、イオンビームスパッタコーティングをすることが可能な卓上式ブロードビーム・アルゴンミリングツールです。
この加工とコーティングの工程は、真空下で同一の試料に対して行うことが可能です。
最低100 Vの低エネルギーの加工により、低加速電圧での観察だけではなく表面状態が結果を左右するEBSD、CLなどの分析にも威力を発揮します。
液体窒素を用いた試料冷却を併用することで、加工時のアーティファクトを抑えます。
仕様・オプション
| イオンソース | |
|---|---|
| イオンガン | レアアース磁石を備えた2台のペニングイオンガン |
| ミリング角度 | 0～18°、各ガンは個別に調節可能 |
| イオンビームエネルギー | 100 eV ～8.0 keV |
| イオン電流密度 | 10 mA/cm2 ピーク |
| ミリング速度 | 90 μm/h : シリコン |
| ビーム径 | ガス流量コントローラまたは放電電圧を用いて調節可能 |
| 試料ステージ | |
| サンプルサイズ | 32 mmD × 15 mmH(最大) |
| 試料装着 | 断面はIlion™II (Gatan社製) の特許取得ブレード SEMステージに適したマルチプルホルダー |
| 回転 | 1～6 rpmまで可変可能 |
| ビームモジュレーション | シングルまたはダブル 各条件設定可能 |
| 高解像度CCD観察 | PCとDigitalMicrograph® ソフトウェア、画像保存機能を備えたデジタルズーム顕微鏡（オプション） |
| 真空系 | |
| ドライポンプシステム | ターボ分子ポンプ80 L/s 2ステージダイヤフラムポンプ |
| 圧力 | ベース真空度：5×10-6Torr オペレーション真空度：8×10-5Torr |
| 真空ゲージ | コールドカソードゲージ（メインチャンバ） 半導体式圧力計（背圧ポンプ） |
| 試料のAirlock | Whisperlok® 技術、サンプル交換時間 ＜1分 |
| ユーザーインターフェース | |
| 10インチのタッチスクリーン（カラ―） | 簡単な操作で、全てのパラメータとレシピ操作を完全制御 |
| 設置条件 | |
| 寸法 | 495 mm (W) × 575 mm (D) × 615 mm (H) |
| 重量 | 45 kg |
| 消費電力 | ガン使用時200 W、ガン非使用時100 W |
| 電源要件 | AC 100～240 V、50/60 Hz |
| ガス | アルゴンガス25 psi(1.72bar) |
「DigitalMicrograph®」「Whisperlok®」は(米)Gatan社の製品です。
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