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VC-100S型 /100W型は、電子顕微鏡試料用カーボン蒸着装置です。TEM、SEM、EPMA にて、絶縁物等の観察・分析する試料表面に導電性薄膜を作製します。また、切片や支持膜の補強にも使用出来ます。100W型はXMAやFIB試料の保護膜など、特に厚いカーボン膜作製に利用します。
特長
ロータリーポンプを使用し、ピラニーゲージで真空度を監視しながらカーボン蒸着を行います。常に一定量のカーボンを蒸発させることにより再現性の高いカーボン蒸着が出来ます。
カーボン源は専用替え芯SLC-30をご使用下さい。
100Sの電極は一対、100Wの電極は2対あります。100Wはスイッチ切り換えで、2倍の厚さのコーティングが可能です。
ロータリーポンプ(RP)を内蔵した一体形です。RPの振動に共鳴しない様、強固な作業台に設置して下さい。水冷は不要です。
仕様・オプション
仕様
| 電源 | AC100V（単相100V 15A）アース線付 3芯プラグ使用 |
|---|---|
| 装置サイズ | (W)300mm × (D)370mm × (H)435mm |
| 装置重量 | 29kg（ロータリーポンプ内蔵） |
| 試料室サイズ | 内径 120mm × 高さ140mm 硬質ガラス製 |
| 試料ステージサイズ | 直径 100mm 蒸発源に対し30mm上下可能 |
| 蒸着源－試料台間隔 | 45mm～75mmの範囲で調整可能 |
| 蒸発電源 | BAKE、OUTGAS、EVAPOの3段階、最適電圧にプリセット |
| 到達真空度 | 2Pa（1.5 × 10-2Torr）以下 |
| 真空度監視 | ピラニゲージにて0.1Pa（7.5 × 10-4Torr）まで指示 |
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