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カーボンコーター
VC-100S/100W
(真空デバイス社製)

カーボンコーター VC-100S/100W (真空デバイス社製)

VC-100S型 /100W型は、電子顕微鏡試料用カーボン蒸着装置です。TEM、SEM、EPMA にて、絶縁物等の観察・分析する試料表面に導電性薄膜を作製します。また、切片や支持膜の補強にも使用出来ます。100W型はXMAやFIB試料の保護膜など、特に厚いカーボン膜作製に利用します。

特長

  • ロータリーポンプを使用し、ピラニーゲージで真空度を監視しながらカーボン蒸着を行います。常に一定量のカーボンを蒸発させることにより再現性の高いカーボン蒸着が出来ます。

  • カーボン源は専用替え芯SLC-30をご使用下さい。

  • 100Sの電極は一対、100Wの電極は2対あります。100Wはスイッチ切り換えで、2倍の厚さのコーティングが可能です。

  • ロータリーポンプ(RP)を内蔵した一体形です。RPの振動に共鳴しない様、強固な作業台に設置して下さい。水冷は不要です。

仕様・オプション

仕様

電源 AC100V(単相100V 15A)アース線付 3芯プラグ使用
装置サイズ (W)300mm × (D)370mm × (H)435mm
装置重量 29kg(ロータリーポンプ内蔵)
試料室サイズ 内径 120mm × 高さ140mm 硬質ガラス製
試料ステージサイズ 直径 100mm 蒸発源に対し30mm上下可能
蒸着源-試料台間隔 45mm~75mmの範囲で調整可能
蒸発電源 BAKE、OUTGAS、EVAPOの3段階、最適電圧にプリセット
到達真空度 2Pa(1.5 × 10-2Torr)以下
真空度監視 ピラニゲージにて0.1Pa(7.5 × 10-4Torr)まで指示

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