Leica EM ACE600は、電子顕微鏡観察／分析における多様なニーズに応えるための多機能高真空コーティングシステムです。
SEMでの高分解能観察用に非常に薄く粒状性の良い金属を、SEMやEPMAでのEDS／WDS分析、TEM用のアプリケーション向けに輻射熱の影響を抑えてカーボンのコーティング膜を成膜できます。
特長
装置の操作はタッチパネルから直感的に行え、マルチユーザー環境をサポート、コーティングレシピの共有が可能です。
装置前面のガラスドアを開けてサンプルをセット、後は自動化されたプロセスにより、誰でも簡単に再現性の良いコーティングができます。
オイルフリーの高真空排気系 (ダイヤフラムポンプ、ターボ分子ポンプ) は装置に内蔵されており、デスクトップの省スペース設計です。
水晶膜厚測定ユニットにより、正確な膜厚制御が行えます。
傾斜したコーティング源とステージの回転により、より広い範囲で均一なコーティングが行えます。
目的に合わせて最大2つのコーティング源を搭載可能です。
オプションで、3軸電動ステージ (回転、傾斜、高さ)、グロー放電による親水化ユニットのほか、真空クライオトランスファー装置 (Leica EM VCT500) と組み合わせたクライオコーティング装置やフリーズフラクチャー装置にアップグレードも可能です。
コーターを超えた展開 ─ New Generatiom CRYO SEMと大気非曝露への応用
オプションのEM VCT500 (真空クライオトランスファーシステム) を装備することにより、コンタミネーションフリーなクライオSEM観察のためのシステム構築が実現できます。
EM VCT500を介することで、EM ACE600はSEMだけでなくVCTポートが装備されたEM FC7T、グローブボックス、EPMA、Tof-SIMSなどにリンケージができます。
仕様・オプション
基本仕様
| 本体サイズ、重量 | (W) 300 × (D) 540 × (H) 640 mm、 65 kg |
|---|---|
| 電源 | 100 / 115 / 230 Vac、50 / 60 Hz |
| 試料ステージ | 標準： φ 104 mm (SEMスタブ用25穴) オプション： φ 104 mmプラネタリー (6×4 SEMスタブ) オプション： φ60 mm低角度ロータリーシャドウイング及びグリッド用 |
| コーティング源の角度 | 25° |
| ステージ傾斜 | 0 - 60° |
| コーティング膜厚制御 | 0.1 nm単位 |
| ユーザーインターフェース | インテグレーテッドタッチパネル |
| USBポート | 32 GB USB2.0 |
| 到達真空度 | 2 × 10-6 mbar以下 オプション： マイスナートラップ装着時 7 × 10-7 mbar以下 |
| 真空ポンプ | オイルフリー、4ステージダイヤフラムポンプ + 67 l / s ターボ分子ポンプ |
マグネトロンスパッタコーティング
| ターゲット | 金、金パラジウム、白金、白金パラジウム、クロム、チタン、タングステン、 イリジウム、ニッケル、アルミ、銅、銀 |
|---|---|
| ワーキングディスタンス | 30 - 100 mm |
| コーティング膜厚 | 0.1 - 1,000 nm |
| プレスパッタ | ON / OFF |
| プロセスガス | アルゴン (99.999%以上、0.5 bar) |
カーボンスレッド蒸着
| 蒸着源 | カーボンスレッド |
|---|---|
| 加熱方式 | パルス / フラッシュ |
| スレッド二重巻き | 可能 |
| ワーキングディスタンス | 30 - 100 mm |
| 蒸着膜厚 | 0.1 - 100 nm |
| 蒸着速度 | 約0.3 nm / s (パルス蒸着時) |
カーボンロッド蒸着
| 蒸着源 | カーボンロッド (25 mm、φ 3 mm、2.45 g / cm3) |
|---|---|
| ワーキングディスタンス | 30 - 100 mm |
| 蒸着膜厚 | 0.1 - 100 nm |
| 蒸着速度 | 約0.3 nm / s |
| プレ加熱 | ON / OFF |
電子ビーム蒸着
| 蒸着源 | カーボン及び白金カーボン |
|---|---|
| 蒸着角度 | オートステージ (オプション)：1 - 90° クライオステージ (オプション）：34 - 90° |
| ワーキングディスタンス | オートステージ (オプション）：164 -191 mm クライオステージ (オプション）：164 - 175 mm |
| 蒸着膜厚 | 0.1 - 100 nm |
| 蒸着速度 | カーボン：約0.3 nm / s、白金カーボン：約0.06 nm / s |
| デガス | ON / OFF |
クライオステージ（オプション）
| ステージ温度 | -170°C ～ -80°C |
|---|---|
| ステージ傾斜角度 | ±27° |
| フリーズエッチング | エッチング速度：約2 nm / s (2 × 10-6 mbar、-100°Cにおいて) 保持時間：最長4時間 |
| 凍結割断ナイフ | 温度：-160°C 切削厚：1 - 100 µm |
ギャラリー
動画
EM ACE600 高真空コーティング装置 (Leica社製) のご紹介
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