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本装置は、チャンバー内に試料を置き、真空状態で酸素プラズマを発生させ試料の表面改質、低温灰化を行います。
特長
低温で処理しますので、試料が傷みません。
操作が簡単です。試料をチャンバーに入れ扉を閉め、スタートボタンを押すだけで『真空引き』、『酸素導入』、『プラズマ処理』、『大気開放』まで自動的に動作します。
高周波出力が安定しています。
処理時間がデジタルで設定できますので、処理時間にばらつきがありません。
仕様・オプション
| 主な仕様 | |
|---|---|
| チャンバーの大きさ | 内径68mm×奥行き250mm (パイレックスガラス) |
| 酸素ガス流量設定 | ニードルバルブ 可変最大100cc/min |
| ガス導入口 | 3mmスウェージロック(ガス圧力は0.1MPa以下でご使用ください) |
| 高周波電源出力 | 2～50W |
| 発振周波数 | 13.56MHz |
| 処理時間設定 | 1～999.9秒 |
| 真空計 | ピラニ真空計(警報接点付) |
| 外形寸法 | 350mm(W)×500mm(D)×200mm(H) |
| 質量 | 10kg |
| 電源 | AC100V 50/60Hｚ |
| 消費電力 | 0.5KVA |
| 標準付属品 | |
| 試料皿 | パイレックスガラス製 |
| 真空ポンプ | 油回転形真空ポンプ 50リットル/min (逆流防止機構付) |
| フレキシブルチューブ | 1m (真空用取付金具付) |
| オプション | |
| ArO2ガスボンベ | ベースガスAr.O2ガス25％ |
| ボンベ架台 | |
| オイルミストトラップ | |
| ガスレギュレータ | 1次圧 25MPa /2次圧 0.2MPa |
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