特長
150mmウエハー対応
レジスト塗布前の材料表面をクリーニング
材料表面の有機物を除去
材料とレジストの密着性向上 (*すべてのケースで改善するとは限りません）
真空中のためオゾン発生が極微量
オゾン発生量 : 0.0012mg/min
装置周辺で0.01ppm
エキシマUVクリーナーはキセノン (Xe) の励起二量体 (エキシマ) から発光する波長172 nmの紫外線を用い、ウエハー表面の有機化合物による汚れを除去することができます。
レジストスカムの除去
エッチング処理前などにクリーニングを実施することで、ウエハー表面に残っているレジスト残差が除去されます。
クリーニング前
ポジレジスト 400nm 厚
クリーニング後
20分照射
エキシマＵＶクリーナーによる試料洗浄 / 親水化処理の仕組みはこちらをご参照ください
仕様・オプション
| 射紫外線 | 波長 172 nm | ||
|---|---|---|---|
| 最大試料サイズ | 152.4 mm (幅) × 152.4 mm (奥行) × 60 mm (高さ) | ||
| 最大試料質量 | 1 kg | ||
| 照射時間設定 | 10 秒 ～ 99 分 | ||
| 真空ポンプ | ダイアフラム型ドライ真空ポンプ | ||
| 設置条件 | 電源 | 単相 90 ～ 110 V、50 / 60 Hz、500 VA | |
| 寸法・質量 (ケーブル、真空配管含まず) |
本体 | 43 cm (幅) × 44 cm (奥行) × 31 cm (高さ)、約22 kg | |
| 真空 ポンプ |
17 cm (幅) × 33 cm (奥行) × 22 cm (高さ) 、約8 kg | ||
| 室温 | 15 ～ 30 ℃ | ||
| 湿度 | 60% (RH) 以下 (結露無きこと) | ||
| 定期交換部品（照射累計 1000 時間で交換） | UVランプ、真空計、Oリング等 | ||
※外観・仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
