All Silicon AFM Probes TAP シリーズ
Noncontact Mode, AC Mode（Tapping）に適したシングルレバータイプのカンチレバーです。
AFMプローブ先端からカンチレバー基板までが単結晶シリコンで一体形成されており、品質の高い形状、先端曲率を有しています。先端曲率は10nm以下で良好な分解能と再現性を有しています。Tip先端には200nm以上に亘って対称性の良いプローブ部分が形成されています。カンチレバー反射面コーティング無しと、アルミコーティングタイプ（Al）があります。
本製品の基板背面にはプローブホルダーへの取付用ガイド溝が構成されています。（-Gのみ）
Tap300-G / Tap300Al-G
| 仕様値 | 許容誤差範囲 | |
|---|---|---|
| 共振周波数 | 300 kHz | ± 100 kHz |
| ばね定数 | 40 N/m | 20 N/m to 75 N/m |
| 長さ | 125 µm | ± 10 µm |
| 幅 | 30 µm | ± 5 µm |
| 厚さ | 4 µm | ± 1 µm |
| Tip 高さ | 17 µm | ± 2 µm |
| Tip 構成位置 | 15 µm | ± 5 µm |
| Tip 曲率 | < 10 nm | |
| 反射面コーティング （TAP300Aｌ-G） |
アルミニウムコーティング 膜厚30 nm | |
| 開き角（半値） | 20°-25° カンチレバー先端側 | |
| 25°-30° カンチレバー側面 | ||
| 10° 先端側 | ||
Tap190-G / Tap190Al-G
| 仕様値 | 許容誤差範囲 | |
|---|---|---|
| 共振周波数 | 190 kHz | ± 60 kHz |
| ばね定数 | 48 N/m | 20 N/m to 100 N/m |
| 長さ | 225 µm | ± 12 µm |
| 幅 | 38 µm | ± 9 µm |
| 厚さ | 7 µm | ± 1 µm |
| Tip 高さ | 17 µm | ± 2 µm |
| Tip 構成位置 | 15 µm | ± 5 µm |
| Tip 曲率 | < 10 nm | |
| 反射面コーティング （TAP300Aｌ-G） |
アルミニウムコーティング 膜厚30 nm | |
| 開き角（半値） | 20°-25° カンチレバー先端側 | |
| 25°-30° カンチレバー側面 | ||
| 10° 先端側 | ||
Tap150-G / Tap150Al-G
| 仕様値 | 許容誤差範囲 | |
|---|---|---|
| 共振周波数 | 150 kHz | ± 75 kHz |
| ばね定数 | 5 N/m | 1.5 N/m to 15 N/m |
| 長さ | 125 µm | ± 10 µm |
| 幅 | 25 µm | ± 5 µm |
| 厚さ | 2.1 µm | ± 1 µm |
| Tip 高さ | 17 µm | ± 2 µm |
| Tip 構成位置 | 15 µm | ± 5 µm |
| Tip 曲率 | < 10 nm | |
| 反射面コーティング （TAP150Aｌ-G） |
アルミニウムコーティング 膜厚30 nm | |
| 開き角（半値） | 20°-25° カンチレバー先端側 | |
| 25°-30° カンチレバー側面 | ||
| 10° 先端側 | ||
