All Silicon AFM Probes Contact / ContAI シリーズ
Contact Modeに適したシングルレバータイプのカンチレバーです。
AFMプローブ先端からカンチレバー基板までが単結晶シリコンで一体形成されており、品質の高い形状、先端曲率を有しています。先端曲率は10nm以下で良好な分解能と再現性を有しています。Tip先端には200nm以上に亘って対称性の良いプローブ部分が形成されています。カンチレバー反射面コーティング無しと、アルミコーティングタイプ（Al）があります。
Contact-G / ContAl-G
| 仕様値 | 許容誤差範囲 | |
|---|---|---|
| 共振周波数 | 13 kHz | ± 4 kHz |
| ばね定数 | 0.2 N/m | 0.07 N/m to 0.4 N/m |
| 長さ | 450 µm | ± 10 µm |
| 幅 | 50 µm | ± 5 µm |
| 厚さ | 2 µm | ± 1 µm |
| Tip 高さ | 17 µm | ± 2 µm |
| Tip 構成位置 | 15 µm | ± 5 µm |
| Tip 曲率 | < 10 nm | |
| 反射面コーティング （ContAｌ-G） |
アルミニウムコーティング 膜厚30 nm | |
| 開き角（半値） | 20°-25° カンチレバー先端側 | |
| 25°-30° カンチレバー側面 | ||
| 10° 先端側 | ||
