Silicon Nitride AFM Probes SiNi シリーズ
形状の異なる2本の窒化シリコン製カンチレバーとTipが1チップ基板上に2組構成されたカンチレバーで、Contact Modeに適したカンチレバーです。反射面は金コーティング処理されています。
SiNi
| 仕様 | 許容誤差範囲 | ||
|---|---|---|---|
| short
cantilever |
long
cantilever |
||
| 共振周波数 | 30 kHz | 10 kHz | ー |
| ばね定数 | 0.27 N/m | 0.06 N/m | ー |
| 長さ | 100 µm | 200 µm | ± 10 µm |
| 幅 | 16 µm | 30 µm | ± 5 µm |
| 厚さ | 520 nm
（450 nm SiNi + 70 nm coating） |
± 50 µm | |
| Tip 高さ | 12 µm（全高） | ± 2 µm | |
| （Wedge Tip部高さ） | > 800 nm（有効長） | ー | |
| Tip 間隔 | 4.5 µm | 0.5 µm | |
| Tip 曲率 | < 15 nm | ||
| 開き角（半値） | 35° (macroscopic) | ||
| 反射面コーティング | 膜厚70 nm クロム/金 | ||
| カンチレバー撓み角 | < 3° | ||
