DLC AFM Probes
Tapシリーズ、Multiシリーズ、Contactシリーズの各カンチレバーのプローブ側の表面にダイヤモンドライクカーボン（DLC）をコーティングしたカンチレバーです。カンチレバーの反射面側にはアルミニウムがコーティングされています。
Contact Mode, AC Mode（Tapping）,Force Modulation, Noncontact Modeまで多くのAFMモードで応用測定に利用できます。
AFMプローブ先端からカンチレバー基板までが単結晶シリコンで一体形成されており、品質の高い形状、先端曲率を有しています。先端曲率は15nm以下で良好な分解能と再現性を有しています。Tip先端には200nm以上に亘って対称性の良いプローブ部分が形成されています。
カンチレバーのTip側表面にDLC膜を15nm、そして反射面側にアルミニウム30nmをコーティングしています。
用途：摩擦力顕微鏡（FFM）、粘弾性力顕微鏡（VE-AFM）、リソグラフィー など
本製品の基板背面にはプローブホルダーへの取付用ガイド溝が構成されています。
Tap300DLC / Tap190DLC / Tap150DLC
| Tap300DLC | 仕様値 | 許容誤差範囲 |
|---|---|---|
| 共振周波数 | 300 kHz | ± 100 kHz |
| ばね定数 | 40 N/m | 20 N/m to 75 N/m |
| 長さ | 125 µm | ± 10 µm |
| 幅 | 30 µm | ± 5 µm |
| 厚さ | 4 µm | ± 1 µm |
| Tip 高さ | 17 µm | ± 2 µm |
| Tip 構成位置 | 15 µm | ± 5 µm |
| Tip 曲率 | < 15 nm | |
| Tip 面コーティング | 膜厚 15nm DLCコーティング | |
| 反射面コーティング | 膜厚 30nm アルミニウムコーティング | |
| 開き角（半値） | 20°-25° カンチレバー先端側 | |
| 25°-30° カンチレバー側面 | ||
| 10° 先端側 | ||
| Tap190DLC | 仕様値 | 許容誤差範囲 |
|---|---|---|
| 共振周波数 | 190 kHz | ± 60 kHz |
| ばね定数 | 48 N/m | 20 N/m to 100 N/m |
| 長さ | 225 µm | ± 12 µm |
| 幅 | 38 µm | ± 9 µm |
| 厚さ | 7 µm | ± 1 µm |
| Tip 高さ | 17 µm | ± 2 µm |
| Tip 構成位置 | 15 µm | ± 5 µm |
| Tip 曲率 | < 15 nm | |
| Tip 面コーティング | 膜厚 15nm DLCコーティング | |
| 反射面コーティング | 膜厚 30nm アルミニウムコーティング | |
| 開き角（半値） | 20°-25° カンチレバー先端側 | |
| 25°-30° カンチレバー側面 | ||
| 10° 先端側 | ||
| Tap150DLC | 仕様値 | 許容誤差範囲 |
|---|---|---|
| 共振周波数 | 150 kHz | ± 75 kHz |
| ばね定数 | 5 N/m | 1.5 N/m to 15 N/m |
| 長さ | 125 µm | ± 10 µm |
| 幅 | 25 µm | ± 5 µm |
| 厚さ | 2.1 µm | ± 1 µm |
| Tip 高さ | 17 µm | ± 2 µm |
| Tip 構成位置 | 15 µm | ± 5 µm |
| Tip 曲率 | < 15 nm | |
| Tip 面コーティング | 膜厚 15nm DLCコーティング | |
| 反射面コーティング | 膜厚 30nm アルミニウムコーティング | |
| 開き角（半値） | 20°-25° カンチレバー先端側 | |
| 25°-30° カンチレバー側面 | ||
| 10° 先端側 | ||
Multi75DLC
| Multi75DLC | 仕様値 | 許容誤差範囲 |
|---|---|---|
| 共振周波数 | 75 kHz | ± 15 kHz |
| ばね定数 | 3 N/m | 1 N/m to 7 N/m |
| 長さ | 225 µm | ± 10 µm |
| 幅 | 28 µm | ± 5 µm |
| 厚さ | 3 µm | ± 1 µm |
| Tip 高さ | 17 µm | ± 2 µm |
| Tip 構成位置 | 15 µm | ± 5 µm |
| Tip 曲率 | < 15 nm | |
| Tip 面コーティング | 膜厚 15nm DLCコーティング | |
| 反射面コーティング | 膜厚 30nm アルミニウムコーティング | |
| 開き角（半値） | 20°-25° カンチレバー先端側 | |
| 25°-30° カンチレバー側面 | ||
| 10° 先端側 | ||
ContDLC
| ContDLC | 仕様値 | 許容誤差範囲 |
|---|---|---|
| 共振周波数 | 13 kHz | ± 4 kHz |
| ばね定数 | 0.2 N/m | 0.07 N/m to 0.4 N/m |
| 長さ | 450 µm | ± 10 µm |
| 幅 | 50 µm | ± 5 µm |
| 厚さ | 2 µm | ± 1 µm |
| Tip 高さ | 17 µm | ± 2 µm |
| Tip 構成位置 | 15 µm | ± 5 µm |
| Tip 曲率 | < 15 nm | |
| Tip 面コーティング | 膜厚 15nm DLCコーティング | |
| 反射面コーティング | 膜厚 30nm アルミニウムコーティング | |
| 開き角（半値） | 20°-25° カンチレバー先端側 | |
| 25°-30° カンチレバー側面 | ||
| 10° 先端側 | ||
