集束イオンビーム加工観察装置 (FIB)
1.1 災害時の確認と注意事項
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地震や水害により、設置室内の漏電・ガス漏れ・水漏れなどによる危険があります。お客様の施設・設備・安全管理者の指示に基づき、ご確認ください。
設置室の排気設備・安全設備・電源設備・ガス供給設備などが正常に稼動している事を確認してください。
装置や設置室を目視で点検し、異常の有無を確認してください。
室内や装置外観の異常・浸水や漏水等の異常を確認した場合は、通電をしないでください。
通電後に、異常や異臭が発生した場合は、直ちに装置の電源をOFFにし配電盤のブレーカーも落としてください。
正常に稼動しても無人運転をせず、お客様の監視下でご使用ください。
1.2 緊急停止方法
装置を使用されている最中に装置から異音・異臭が発生した場合や、地震等の災害が発生した場合は装置を緊急停止する必要があります。
- 緊急停止ボタンを押して頂くか、MAIN (POWER) SWをOFFにしてください。
- 電源供給を完全に停止してください。
配電盤から装置ブレーカーをOFFにする
- 窒素ガス供給を完全に停止してください。
ボンベ容器等の元栓を閉める
- 冷却水供給を完全に停止してください。
チラー等の電源をOFF、又は冷却水の元栓を閉める
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弊社の製品は電源が復帰しても自動的に再起動する事はございません。
1.3 通常停止方法
停電が予め分かっている場合は以下の操作を実施し本体装置を停止して下さい。 (詳細は装置付属の取扱説明書を参照下さい)
装置を停止する場合には、画像や加工プログラムなどのデータをファイルに保存してください。
- 電子銃/イオン銃を停止させる。
- メニューから終了を選択し、GUIを閉じる。
- PC・周辺機器・チラー・操作系等の電源を停止させる。
- 本体ブレーカーを停止させる。
- 窒素ガス・冷却水供給の元栓を閉めてください。
1.4 通常通電時の注意
- 設置室の設備 (電源・温調・換気・ガス・冷却水など) が正常に稼動していることを確認して下さい。
- 装置を目視で点検し、異常の有無を確認してください。
- 装置の起動は、装置の取扱説明書に沿って立ち上げてください。
- 通電後又は装置稼動中に異音異臭がない事をご確認ください。
異臭異音が生じている場合は、直ちに使用を停止し、弊社サービス窓口まで、ご連絡ください。
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注意：停電や緊急停止によりPCの故障やPC内部のデータ損失の可能性もあります。また通常使用でも同様の問題が発生する事が有りますので定期的なデータバックアップを推奨いたします。