高角度検出反射電子と低角度検出反射電子

最近、反射電子検出器の位置を工夫することで、試料から放出した反射電子を入射電子の入射方向に近い角度で検出（高い取り出し角度）したり、反対に入射電子から遠い角度で検出（低い取り出し角度）することが可能になっています。本資料では、それぞれの反射電子が、異なった試料情報をもたらすことをわかりやすく説明します。