TEM試料作製の自動化
IB2019-05
FIBは高い位置精度でTEM試料を作製できるため試料作製ツールとして広く用いられています。しかし、TEM試料作製を行う上ではFIBの知識やノウハウが必要になります。短時間のトレーニングで誰でも試料作製を行えるようにするには、TEM試料作製を自動化することが重要です。
自動TEM試料作製システム "STEMPLING"※オプション
STEMPLINGは、TEM試料作製法のバルクピックアップ法におけるチャンク作製と薄膜加⼯の自動化が可能です。
マグネシウム合金のTEM試料作製
STEMPLINGにより、マグネシウム合金のTEM試料をバルクピックアップ法で自動作製しました。
TEM観察した結果、作製した試料は均一な膜厚であり、高分解能観察が可能な試料であることがわかりました。
試料作製
TEM観察
作製した試料の状態
- 薄膜サイズ：幅4μm × 高さ7μm
- 薄膜厚み：約100nm、均一
- 高分解能像 (格子像) の観察が可能
