光学顕微鏡で観察した繊維のSEM/EDSによる分析（アスベストCLEM法）

一般的にアスベストの計数は、広い領域を短時間で観察できる光学顕微鏡で行いますが、光学顕微鏡では計数中に「これは本当にアスベスト？」と疑問に思った際、確認する術がありませんでした。ここでは、アスベストCLEM法により、光学顕微鏡で観察して疑問に思った繊維を、容易にSEMで分析した例を紹介します。

アモサイト分析例

光学顕微鏡 (LM、位相差顕微鏡) で観察した繊維 (図3) にマーキングし (図1)、SEMで同一繊維を観察しました (図2、図4)。　EDS分析によりアモサイトと同定しました。

図1 LM 位相差像

図2 SEM 二次電子像

図3 LM 位相差像 拡大

図4 SEM 二次電子像 拡大

クリソタイルに混在した繊維状物質の分析例

クリソタイルを捕集したフィルターの観察中に、クリソタイルでないと思われる繊維を発見しました (図5)。アスベストCLEM法によりSEM／EDSで同一繊維を観察、分析した結果、クリソタイルと思われる繊維はクリソタイル(図7)、クリソタイルではないと思われる繊維はアモサイト (図8)と同定しました。
このように異なる繊維が試料に混在していた際も、アスベストCLEM法を用いることで、繊維を判定することが可能です。

図5 光学顕微鏡 位相差像

図6 SEM 二次電子像

図7　①クリソタイルと思われる繊維の分析結果

図8　②クリソタイルではないと思われる繊維の分析結果

Sample：　フィルターに捕集されたアスベスト
Imaging device: Nikon Ci, JEOL JSM-IT200

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