SEM-EDSによる金属部品の広域測定
MP2021-01
目的：
- ねじ全体(4 mm x 5 mm)を断面加工したい。
- ねじ断面の全体をSEM観察したい。
- 断面の広域元素分析を行ないたい。
長い作動距離(WD)での広域SEM観察
WD を40 mmにすることによって、歪のない極低倍率でのSEM観察が可能となる。
～断面試料作製手順～
①機械研磨 (アルミナ0.3 μm仕上げ)
②CPに搭載された平面ミリング
＊CP平面ミリング条件：
加速電圧 6 kV, 傾斜角 80°, 5 min.
CP: Cross-section Polisher
反射電子像によるチャンネリングコントラストの観察
平滑なねじ断面の各部位を拡大すれば、チャンネリングコントラストの違いが観察できる。
モンタージュSEM観察および元素分析
モンタージュ機能を用いることで、WD 10 mmで観察 および分析が広領域で行なえる。
モンタージュ結果 6×6
試料：真鍮製ねじの平面ミリング断面
加速電圧：20 kV
低真空モード (20 Pa)
撮影範囲：6.4 mm × 4.8 mm
- このページの印刷用PDFはこちら。
クリックすると別ウィンドウが開きます。 
PDF 698.6KB
