1.1 災害時の確認と注意事項

  • 地震や水害により、設置室内の漏電・ガス漏れ・水漏れなどによる危険があります。お客様の施設・設備・安全管理者の指示に基づき、ご確認ください。
  • 設置室の排気設備・安全設備・廃液設備・ガス供給設備などが正常に稼動している事を確認してください。
  • 装置や設置室を目視で点検し、異常の有無を確認してください。
  • 室内や装置外観の異常・浸水や漏水・液体をかぶった場合・ガス臭い場合は、通電をしないでください。
  • 通電後に、異常や異臭が発生した場合は、直ちに電源を落としてください。
  • 正常に稼動しても無人運転をせず、お客様の監視下でご使用ください。

1.2 緊急停止方法

  • 配電盤ブレーカを切り、可能なかぎりガスや水などの元栓を閉じてください。
  • ACコンセントは抜いてください。
  • 弊社の製品は、フェイル・セーフ・システムを採用しており、急な停電でも安全な状態で停止いたします。また電源が復帰しても自動的に再起動する事はございません。
  • 数十年前の旧型の製品や、他社製品の周辺機器は、フェイル・セーフに未対応の物がありますので、確実に電源を切ってください。

1.3 通常停止方法

  • ヒーター類を全てOFFにして、温度が60℃以下になるのを待ちます。
  • 真空を落とします。シャットダウン機能が付いた装置はシャットダウンボタンを押します。
  • 排気系スイッチ(VAC)をOFFにしてください。
  • システムの全てのプログラムを停止し、シャットダウンします。ワークステーションはシャットダウンシーケンスでシステムを停止します。
    ※システムの停止方法の詳細は取扱説明書をご確認ください。
  • 装置とシステムの電源を落とします。(スイッチやブレーカをOFFにします)
  • ガスや水などを使っている場合は、元栓を閉じます。

1.4 通常通電時の注意

  • 設置室の設備(温調・換気・排気・廃液・ガス・水など)が正常に稼動していることを確認します。
  • 電源(コンセント・ACプラグなど)に、ゴミや埃の付着が無い事を確認します。
    ※コンセントやACプラグに、ゴミや埃が付着している場合は、掃除機や乾いた布などで掃除してから差し込んでください。
  • 装置の起動は、装置の取扱説明書に沿って立ち上げてください。
  • 通電後に異常や異臭を感じたら、直ちに使用を中止し、弊社コールセンターにご連絡ください。