1.1 災害時の確認と注意事項

  • 地震や水害により、設置室内の漏電・ガス漏れ・水漏れなどによる危険があります。お客様の施設・設備・安全管理者の指示に基づき、ご確認ください。
  • 設置室の空調、排気設備・安全設備・電源設備・ガス供給設備・冷却水設備などが 正常に稼動している事を確認してください。
  • 装置や設置室を目視で点検し、異常・地震災害による装置等の移動の有無を 確認してください。
  • 室内や装置外観の異常・浸水や漏水等、異常が確認された場合は、通電を しないでください。
  • 通電後に、異常や異臭が発生した場合は、直ちに装置の電源をOFFにし 配電盤のブレーカも落としてください。
  • 正常に稼動しても無人運転をせず、お客様の監視下でご使用ください。

1.2 緊急停止方法

装置を使用されている最中に装置から異音・異臭が発生した場合や、地震等が発生した場合は装置を緊急停止する必要があります。
(詳細は装置付属の取扱説明書を参照下さい)

  • 緊急停止用のスイッチ(EMERGENCY SW装着機種)を押して頂くか、MAIN(POWER)SWをOFFにしてください。
  • 装置を停止させた後に配電盤にて装置ブレーカーをOFFにする。
  • 冷却水を完全に停止する。(CWCの供給水の元栓を締める)
  • 窒素ガス供給を完全に停止する。
  • 弊社の製品は電源が復帰しても自動的に再起動する事はございません。

1.3 通常停止方法

停電が予め分かっている場合は以下の操作を実施し本体装置を停止して下さい。(詳細は装置付属の取扱説明書を参照下さい)

  • 描画動作停止し、必要ファイルは保存してください。
  • フィラメント、高圧のOFF(FEGの場合はエミッションOFF)
  • メニューから終了を選択し、GUIを閉じる。(EWS/CPUの停止)
  • 搬送装置、冷却水供給装置(CWC)、コントローラの電源を停止。
  • 真空系の停止。(FE-Gunの場合電子銃BACK UP電源をONとする=>ご購入されている場合)
  • 本体装置の電源のOFF(本体装置のMAINをOFFにします)
  • 本体ブレーカーをOFFとする。
  • 窒素ガス、冷却水の元栓を閉じます。

1.4 通常通電時の注意

  • 設置室の設備(電源・温調・換気・ガス・冷却水など)が正常に稼動していることを確認して下さい。
  • 装置を目視で点検し、異常の有無を確認してください。 装置の起動は、装置の取扱説明書に沿って立ち上げてください。
  • 通電後に異常や異臭を感じたら、直ちに使用を中止し、弊社サービス窓口まで、ご連絡ください。

注意:停電や緊急停止によりCPUの故障やCPU内部のデータ損失の可能性もあります。 また通常使用でも同様の問題が発生する事が有りますので定期的なデータバックアップを推奨いたします。