• 概要

RF電源(RF-120シリーズ)及び自動整合装置(RF-340シリーズ)はDeviceNet,RS232C,アナログの各インターフェイスを標準装備しています。ここでは製造ラインで省配線化が可能なDeviceNetによる接続例と、RF電源・マッチングボックスの特長について述べます。

1. はじめに

日々大面積化と微細加工が進展する半導体業界において、製造ラインで使用される生産装置は、制御が高度化し、それに伴い装置単体のみならず、製造ライン全体が複雑化しています。このような製造ラインで一般的に使用されつつあるフィールドネットワークとして、DeviceNet があります。
この DeviceNet 搭載のRF電源、および、自動整合装置を製品化しましたので、ご紹介します。

2. DeviceNet

DeviceNetについて簡単にご紹介します。 DeviceNet は、Profibus-DP、Interbus-S などと同様のフィールドネットワークの一つで、ODVA が管理・運営しています。以下の特長があります。

  1. 簡単・自由な配線(省配線化)
  2. FA トップクラスの高速応答
  3. 完全なオープンネットワーク
  4. マルチベンダ環境でのプログラムや操作の共通化

 ユーザーには以下のような大きなメリットがあります。

  1. 省配線による工数削減・誤配線防止
  2. 装置の分散型の製造スタイルが容易
  3. I/O の分散化で制御盤や装置の小型化
  4. 機器毎にプラグアンドプレイで通信確立が容易
  5. モニタツールの充実により不具合箇所の特定が容易

このような特長・メリットのある DeviceNet は、日本・米国のみならず、 全世界でトップクラスのノード数シェアを獲得しています。

3. インターフェース


今回紹介します RF 電源 RF-12020 と自動整合装置 RF-34021 には、DeviceNet の他、アナログ、RS232C の 3 種類が標準装備されています。
DeviceNet を使用した場合、ネットワーク接続が可能ですので、かなりの省配線化が可能です。

図 1 DeviceNet接続例

図 1 DeviceNet接続例


RS232C は、RF 電源・自動整合装置共に 2 ポート用意されています。 1 ポートをRF電源と自動整合装置間を接続し、もう 1 ポートをパソコンに接続すると、 1 台のパソコンで RF 電源と自動整合装置両方の制御ができます。

図 2 RF232C接続例

図 2 RF232C接続例

4. RF電源 RF-12020

RF-12020(図4) は、高機能化・高効率化をコンセプトに、周波数 13.56MHz ・出力 1500W ・空冷のRF電源を開発しました。主な特長・機能は以下の通りです。

  • 低高調波率・低入力電力
    AC 入力電流は、コンデンサインプット独特の電流波形を正弦波に近付けることによって、高調波低減と入力電力低減を果たしました。 (図5)
  • アークカウント機能
    アーク発生回数をカウントし、設定した回数に達すると出力を停止します。
  • パルス運転(オプション)
    最大周期 10kHz 、デューティ 20~80% 
  • 過去データ記憶
    RF 電源内部に異常発生が発生した場合、発生時から過去 30 秒前の内部データを表示します。
  • マッチング完了確認
    反射電力が設定以下になると確認信号を出力します。
  • 積算電力表示
    出力と時間の積を計算し表示します。
  • パターン運転(図3)
    予め記憶させた出力と時間のデータをもとに自動的に出力を制御します。
    1 パターン最大 5 ポイント、3 パターン記憶可能です。
図3 パターン運転

図3 パターン運転

図4 RF-12020写真 図5 高調波特性

図4 RF-12020写真

図5 高調波特性  

5. 自動整合装置 RF-34021

RF-34021(図 6) は、1500W 以下で使用可能な自動整合装置です。主な特長・機能は以下の通りです。

  • 8 ポイントプリセット
    最大 8 ポイントのプリセット情報を記憶できます。
  • オートプリセット
    出力ゼロ時に記憶したプリセット位置へバリコンを移動させ、Vdc 発生後オート動作に切り替えます。
  • オートディレイ
    アーク発生などの急な負荷変動には反応ぜず、ある設定時間経過後オート動作でマッチングをとります。
  • バリコン駆動範囲設定可能
    操作キーからバリコンの駆動範囲を入力することによって、駆動範囲を制限することができます。
  • 負荷インピーダンス表示
    マッチングがとれたときのプラズマインピーダンスを表示します。

図 6 RF-34021 コントローラ 図 6 RF-34021 本体
図 6 RF-34021(左:コントローラ 右:本体)


関連製品 RELATED PRODUCT