FIBによるTEM試料作製法：リフトアウト法

本解説ではFIBによるガラスマニピュレータによるTEM試料作製法について紹介します。事前に素材をTEMの試料ホルダに挿入できない場合は切り出しの手間に多くの時間を要します。また、試料のほとんどが失われてしまいます。そこで素材の必要な部分のみFIBで薄膜加工、切り離し用光学顕微鏡に取り付けられたマニピュレータの先端に取り付けられたガラスプローブでピックアップしカーボンなどの支持膜上に載せるピックアップ法が現在では主流となっています。以降、ピックアップ法の具体的な手順について紹介します。