アタッチメント：Cryo-FIB

FIBとSEMが同一チャンバに備えてあるマルチビーム装置にCryoシステムをアタッチメントとして追加することにより、試料を凍結状態にし、FIBによって希望する部位を正確に断面加工することが可能になります。本解説ではマルチビーム装置 JIB-4601FにCryoシステムを取り付けて含水試料の断面加工および低融点材料の断面加工例を紹介いたします。