• 概要

領域指定によるオージェ像収集は,場所と大きさを任意に設定することができ,目的の分析箇所のオージェ像を短時間で測定することができます。また,解像度を上げて精細なオージェ像を測定することもできます。
オージェ像収集中には,分析箇所のドリフトを補正するために,プローブトラッキングを実行しますが,視野全体の画像でドリフトを検出しますので,分析箇所を逃すことはありません。
図は,赤枠で囲んだ領域を,解像度を上げて二次電子像とオージェ像を測定した結果です。
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