領域指定によるオージェ像収集

領域指定によるオージェ像収集は，場所と大きさを任意に設定することができ，目的の分析箇所のオージェ像を短時間で測定することができます。また，解像度を上げて精細なオージェ像を測定することもできます。
オージェ像収集中には，分析箇所のドリフトを補正するために，プローブトラッキングを実行しますが，視野全体の画像でドリフトを検出しますので，分析箇所を逃すことはありません。
図は，赤枠で囲んだ領域を，解像度を上げて二次電子像とオージェ像を測定した結果です。