表面分析のお悩みを一挙解決 ～新方式エネルギーフィルターSEMの活用事例～
公開日： 2020/12/09
本発表でご紹介する"Spectrum Image"は、弊社が産業技術総合研究所の田口様らとの共同研究により開発いたしました。
この新方式は各ピクセルにスペクトル情報が格納されているため、エネルギーフィルターをかけた表面敏感なSEM像や元素分布、バンドギャップの面分布など測定後に必要な情報を持った像を抽出することができます。
本セミナーは、WEB上で開催されます。WEBに接続できる環境であれば、パソコンからだけでなく、スマートフォンやタブレットからも参加することができます。
皆さまのご参加をお待ちしております。
"このウェビナーから学べること"
- 高加速電圧下で高空間分解能な表面分析が可能であること。
- バンドギャップのような電子状態の分布を可視化することができること。
- 電子のエネルギーを選択することで必要な情報を持つ像が抽出できること。
"参加いただきたいお客様"
- SEMによる表面分析の限界にチャレンジされている方（SEMによる表面分析でお悩みの方）
- 半導体などの不良解析に携わる方
- AESをお持ちなのに活躍の場が失われている方（AES分析の幅を広げたい方）
講演者:
伊木田 木の実
日本電子株式会社
SA事業ユニット
SA技術開発部2グループ
開催日/詳細
- 講演日時:
2021年1月14日 (木) 16:00～16:30
関連製品
参加費
- 参加費:
無料（先着順での受付となります。お早目にお申込みください。）
お申し込み方法
ウェビナーは、終了しました。
動画を公開しておりますので、下記よりお申込みください。
お問合せ
- 日本電子株式会社
デマンド推進本部 ウェビナー事務局
sales1[at]jeol.co.jp
※ [at]は＠に、ご変更ください。
動画
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