初心者必見！UPSを使った仕事関数測定のコツ紹介 -XPS装置のさらなる活用-

公開日： 2022/10/04

仕事関数は電子放出材料や電子デバイス等の分野において重要な物性量であり、様々な手法で評価されています。
そこで今回は表面汚れ量や試料の元素組成を評価できるXPS装置にUPS (紫外線光電子分光) を搭載して仕事関数を評価する方法を紹介します。
本発表では仕事関数測定に慣れた方だけではなく、これから仕事関数評価を行おうと思っている方でも簡単に測定できることを目指して、基本原理から適切な条件での測定、そして測定結果から仕事関数を算出するまでのコツをお話しします。

本セミナーは、WEB上で開催されます。WEBに接続できる環境であれば、パソコンからだけでなく、スマートフォンやタブレットからも参加することができます。
皆さまのご参加をお待ちしております。

"このウェビナーから学べること"

• UPS (紫外線光電子分光法) を用いた仕事関数測定のコツ
• 仕事関数測定時にXPS装置を併用するメリット
• 価電子帯測定などにも使えるUPSの使い方の基礎

"参加いただきたいお客様"

• 仕事関数測定を行おうと思っている方から日ごろ仕事関数測定行っている方まで
• XPS装置をお使いの方でさらに詳細な材料評価を行いたい方
• 価電子帯評価などで紫外光源を使おうと検討されている方

講演者:

村谷 直紀

日本電子株式会社
SA事業ユニット
SA技術開発部
第2グループ

動画

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初心者必見！UPSを使った仕事関数測定のコツ紹介 -XPS装置のさらなる活用