第18回 SEMユーザーズミーティング東京

IoTクロスセクションポリッシャ™の新機能の紹介
～高速・冷却・非曝露加工で進化する試料作製～

新型クロスセクションポリッシャ™（CP）は、遠隔操作によって加工条件の変更や加工領域の確認が可能です。また、10kVイオンソースによる高いミリングレートを実現し、フローに沿って設定できる直感的な操作画面も備えています。今回は、これらの基本機能に加えて、大気非曝露下での加工など新機能や操作性の向上についてご紹介します。

高自由度・高安全性を備えた FIB-SEM JIB-PS500iの応用例紹介

JIB-PS500iは、XY軸130mmの移動範囲と-40〜+93度のステージ傾斜が可能で、大型試料を多角的に加工・観察可能です。また、WD4mmの短いコインシデンスポイントにより、電子・イオンビームの高い集束性を活かした高精度加工・高分解能観察を実現。さらに、3Dモデルによる干渉防止機構により、安全性の高い操作が可能です。本発表では、これらの特長を活かしたJIB-PS500iの応用例を紹介します。

大学における FIB-SEM装置（JIB-4700F）の活用事例
～先端研究から共用機器運用まで～

複合ビーム加⼯観察装置（日本電子：JIB-4700F）が大阪公立大学中百舌鳥キャンパスにて2022年３月より稼働しています。FIBでの高速加工・SEMでの高空間分解能・大口径EDSでの高速組成分析・FIB/SEM観察下でのリフトアウト作業・大気非暴露トランスファーシステムを用いたTEM試料作製/観察など学内外のユーザーに大いに利用されています。講演では、先端研究から研究基盤共用センターでの共用機器運用までさまざまな活用事例を紹介します。

昼食

実機・ポスター展示

SEM観察基礎編　～反射電子を使いこなす～

日本電子では、装置をより有効にご活用していただくために講習コースをご用意しており、走査電子顕微鏡（SEM）に関しては、W-SEM標準コースやFE-SEM標準コースなど、毎月さまざまな内容で講習を実施しています。
本講演では講習会でも取り上げている「観察時の信号選択」に焦点を当てます。なかでも反射電子像というと「組成像（原子番号コントラスト像）」を思い浮かべる方が多いかと思いますが、実はそれだけではありません。反射電子を使って得られる凹凸像や結晶方位差による像、そしてそれぞれに適した検出器の選び方についてご紹介します。

これから始める Volume EM
～電子顕微鏡を用いた 3次元構造解析の紹介～

電子顕微鏡を用いた三次元構造解析（Volume EM）には、アレイトモグラフィや、シリアルブロックフェイス（SBF）など、様々な手法があります。それぞれの手法の特徴を説明し、必要な機器や最適な試料作成方法など、これからVolume EM始めるために必要な情報を紹介します。

SEMベース vEMのための実践的試料作製法

近年、生物分野においてSEMを用いたイメージングが急速に普及しています。これは、SEMでもTEMに匹敵する組織像が得られるようになったことが背景にあります。さらに、この技術を応用した電子顕微鏡による三次元解析は、ボリュームEM（vEM）として注目を集めています。本講演では、その背景や発展経緯に触れつつ、生物組織を対象としたvEMに必要な試料作製の実践的な手法や、装置特性に応じた工夫について紹介します。

休憩 /実機・ポスター展示

～SEMの測定作業を効率化～
進化した自動観察・分析機能 Neo Action のご紹介

走査電子顕微鏡 (SEM) は研究開発、品質保証、製品検査の現場まで幅広く使われています。これらの用途においては、大量の画像や分析データの取得を必要とすることが多く、SEMの自動化のニーズが高まっています。このようなニーズに応え、弊社はオート機能を飛躍的に向上させた高分解能FE-SEM「JSM-IT810」を開発しました。新搭載の自動観察・分析機能「Neo Action」 は、視野移動から測定条件変更、光学系調整、画像取得、EDS による元素分析までを、多視野に対して自動で行う機能です。本講演ではNeo Actionの特長と、スループットと安定したデータ取得が求められる事例として、半導体試料等での活用例について紹介します。

SEMによる自動破面解析技術の開発

SEMによる破面観察・解析において、撮像・解析・可視化までワンストップで行う機械学習システムを開発しています。本システムでは、SEM像から破面領域を瞬時に抽出し、目的箇所の撮像、破面分類、そのマップ化まで自動化を可能としており、解析難度が高い疲労破壊についても、独自の機械学習モデルを開発することで対応しています。本講演では、SEMと機械学習を融合する要点を共有し、我々が目指すSEM×AIが切り拓く新たなワークフローの展望を示します。