第19回 SEMユーザーズミーティング

新型卓上SEM 「JCM-7000Plus」のご紹介

本発表では、Live測定機能を強化した新型卓上SEM「JCM-7000Plus」をご紹介します。入射電圧の20 kV化による分解能向上に加え、Live Analysisによる元素分析、Live Mapによる元素分布の可視化、Live 3Dによる表面形状評価、Live Particleによる粒子径の自動測定など、試料情報をその場で迅速に取得できる機能を解説します。さらに、Neo Action機能の強化による観察・分析・レポート作成の自動化について紹介し、操作性と業務効率の向上を実現する最新性能をご説明します。

SEMは主役か、それとも名脇役か？
～建材中アスベスト分析におけるSEMの位置付けを考える～

アスベスト分析におけるSEMの役割は国によって異なります。ドイツではSEMが主たる分析手法として活用される一方、日本ではPLMを中心とした分析体系の中で確認分析や補完分析として発展してきました。本発表では世界の主要な分析法を概観するとともに、 日本における規制や分析対象の変化とSEMの関わりを振り返ります。さらに、低濃度試料や複雑な建材への対応を通じて変化してきたSEMの役割を整理し、今後のアスベスト分析におけるSEMの可能性について考察します。

SEM自動化の次なる一歩
～JEOL FE-SEMにおける最新オートメーション技術の取り組み～

JEOLでは、SEM観察・分析の効率化と測定品質の向上を目指し、オートメーション技術の開発を進めています。本講演では、高精度な自動調整機能による安定した装置運用への取り組みを紹介するとともに、人の手を介さずにSEM観察・分析を実現するNeo Actionの最新技術をご紹介します。また、ロボットアームによる試料搬送システムの開発目的や活用例にも触れ、SEM運用の新たな可能性についてお伝えします。

昼食

実機・ポスター展示

レーザー加工SEMシステム LazEdge の特長と応用

フェムト秒パルスレーザーを備えたSEMシステム LazEdgeは、高速で広領域かつ高クオリティの断面加工を試料室内で実現できます。EBSD測定も可能な断面を加工できる浜松ホトニクス社独自のレーザー光学系と、 大量の加工デブリからSEMを保護するLazEdgeシールドにより、加工から観察・分析までシームレスに行えます。本講演では、LazEdge の特長と応用事例を詳細にご紹介します。

高傾斜ステージ搭載FIB-SEM JIB-PS500iによる効率的なEBSD/TKD解析

FIB-SEMとEBSDを組み合わせることで、薄片領域を対象としたTKDによる高空間分解能の結晶方位解析が可能です。 一方、従来はFIB加工とEBSD/TKDで異なる試料姿勢が必要となり、ホルダ交換を伴うことが多いです。JIB-PS500iでは−40°～93°の高傾斜ステージを備え、同一ホルダ上でFIB加工からEBSD/TKD解析までを連続実施できます。 本発表では、その手法と応用例を紹介します。

Quantitative Microstructure Characterization by High-Resolution EBSD in Functional Materials
～ Optimization of SEM-EBSD Conditions and Pattern Matching Indexing ～

The quantitative characterization of microstructures in thin films and plated layers has become increasingly important with the rapid development of advanced semiconductor and energy materials. Electron Backscatter Diffraction (EBSD) provides quantitative information on crystallographic orientation, phase distribution, grain size, and grain boundary characteristics. However, reliable EBSD analysis of materials with grain sizes on the order of tens of nanometers remains challenging due to limitations in spatial resolution and Kikuchi pattern quality. This presentation introduces practical strategies for high-resolution SEM-EBSD analysis through optimization of accelerating voltage and probe current, combined with Pattern Matching Indexing (PMI) for improved indexing reliability. The effects of SEM-EBSD conditions on data quality will be discussed using examples from various functional materials. In particular, quantitative analysis of sub-100 nm grains in thin films and fine intermetallic compounds (IMCs) at plated layer/substrate interfaces will be presented. These case studies demonstrate how optimized hardware conditions and advanced indexing methods can push the practical limits of EBSD for high-resolution microstructure characterization and provide statistically meaningful microstructural information.

休憩/実機・ポスター展示

ボリューム電子顕微鏡法による生物試料の三次元形態解析

連続断面像から細胞・組織を三次元解析するボリューム電子顕微鏡法（vEM）は、脳神経科学が牽引して急速に発展・普及し、生命科学に変革をもたらすと期待されます。本講演では、FE-SEM（JSM-7900F、JSM-IT800）とFIB-SEM（JIB-PS500i）で確立したワークフロー、関心領域（ROI）を確実に捉える工夫、光学顕微鏡像を三次元解析へつなぐ光－電子相関顕微鏡法を、マウス組織などを実例に紹介します。

SEMで探る食品の科学
～食感や栄養を可視化する科学の目～

食品開発では、これまで官能評価に依存してきた食感などの評価項目を、分析機器を用いて客観的に数値化することが求められています。 本発表では、おいしさに影響を与える食品の微細構造をSEMで可視化し、構成成分の比率やサイズの定量化、ミネラルなどの含有元素分析の事例を紹介します。 SEMは、多様な検出信号による観察に加え、凍結割断やイオンビーム加工などの前処理法にも対応しており、幅広い食品試料の解析に活用できます。