新型走査電子顕微鏡JSM-IT510シリーズ InTouchScope™ を販売開始 —必要なデータを、いつだってシンプルに。—
公開日： 2021/11/08
日本電子株式会社 (代表取締役社長兼COO 大井 泉) は、新型走査電子顕微鏡JSM-IT510シリーズを開発し、2021年11月より販売を開始しました。
開発の背景
走査電子顕微鏡はナノテクノロジー、金属、半導体、セラミックスや医学・生物学の分野など、様々な分野で活用され、益々その用途を広げています。また、使用される目的も基礎研究から製造現場、品質管理まで幅広くなっており、それに応じて、より早く、より簡単に観察・分析データを取得したいという需要が高まっています。
こうしたニーズに応え、スループットの向上を図るために、ご好評を頂いている当社InTouchScope™の操作性をさらに進化させたJSM-IT510シリーズを開発しました。
新機能のSimple SEMにより毎日のルーティンワーク (繰り返し作業) を装置に「おまかせ」出来るようになりました。
主な特長
- 新開発 Siｍple SEM
Simple SEM機能は、SEM像の取得条件と視野の選択を行うだけで、あとは自動でSEM像の取得を行う機能です。ルーティンワークの効率化が可能です。 - 新開発 低真空ハイブリッド二次電子検出器 (LHSED)
本検出器は、二次電子が残留ガス分子に衝突した際に発生する電子と励起光を検出することで、低真空下でも詳細な凹凸情報が得られます。 - 走査電子顕微鏡 (SEM) とエネルギー分散形X線分析装置 (EDS) のインテグレーション
SEMとEDSのインテグレーションがさらに進化、Live Mapにより観察視野の元素マップのライブ表示が可能です。 - 新機能 Live3D
SEM観察しながらその場で3D像を構築し凹凸・深さ情報が得られます。 - Live Analysis
観察中も常に元素分析結果が表示されるLive Analysis機能を搭載し、効率の良い元素分析が可能です。 - 新機能 ステージナビゲーションシステムLS
従来機種の4倍のエリア (200 mm×200 mm) の光学像の取得が可能です。ステージナビゲーションシステムは観察試料の光学像を取得し、光学像をクリックするだけで目的の観察視野へ移動が可能な機能です。 - Zeromag
光学顕微鏡感覚で視野移動ができ、多視野にわたる観察・分析でも素早く快適な視野探しが可能です。 - 信号深さ表示
測定している試料の分析の深さ (目安) を即座に知ることが可能です。 - 取得データを一元管理できるSMILE VIEW™ Lab
観察画像や元素分析結果を一元管理し、短時間で全データのレポート作成が容易に行えます。
主な仕様
| 分解能 高真空モード | 3.0 nm (30 kV) 15.0 nm (1.0 kV) |
| 分解能 低真空モード | 4.0 nm (30 kV 反射電子像) |
| 写真倍率 | ×5～×300,000 (128 mm×96 mmを表示サイズとして倍率を規定) |
| 表示倍率 | ×14～×839,724 モニター上の画像倍率 (358 mm×269 mmを表示サイズとして倍率を規定) |
| 電子銃 | タングステンフィラメント |
| 加速電圧 | 0.3 kV～30 kV |
| 照射電流 | 1 pA～1 μA |
| 低真空圧力設定範囲 | 10～650 Pa |
| 自動機能 | フィラメント調整、ガンアライメント調整、フォーカス / 非点 / 明るさ / コントラスト調整 |
| 最大試料寸法 | 試料最大径 200 mm 試料最大高さ 90 mm |
| 試料ステージ | 大形ユーセントリック式 X: 125 mm Y: 100 mm Z: 80 mm 傾斜：−10～90° 回転：360° |
| 標準レシピ | あり (EDS条件を含む) |
| 画像モード | 二次電子像、REF像、組成像、凹凸像、立体像 |
| EDS機能 | スペクトル分析、定性分析・定量分析、ライン分析 (水平ライン分析、任意方向ライン分析)、元素マッピング、プローブトラッキング |
※仕様および写真はJSM-IT510(LA)
本体標準価格
22,000,000円～ (税込)
販売予定台数
200台 / 年間
