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特長 STRONG POINT

JSM-IT510 InTouchScope™ 走査電子顕微鏡

必要なデータを、いつだってシンプルに。

走査電子顕微鏡 (SEM) は研究だけでなく、品質保証や製造現場で欠かせないツールなっています。
そのような現場では、同じ観察作業を繰り返し行う必要があり、工程の効率化が求められてきました。

JSM-IT510は新たに加わったSimple SEM機能では、従来SEM観察に必要とされたマニュアルによる繰り返し作業を 「おまかせ」 出来ます。SEMの観察作業をより効率よく、より楽に行えるようになりました。

Simple SEM

撮影したい視野を選ぶだけ

Simple SEMは日々のルーティンワークをサポートします。

  • 試料: 電子部品
  • 加速電圧: 15 kV、倍率: (上)×50 (下)×1,000、信号: 反射電子
Simple SEM / JSM-IT510

動画紹介

Simple SEMの機能についてご紹介しています。

◆上のボックス内の再生ボタンをクリックするとムービーが始まります (約2分)

試料交換ナビ

試料を入れて、迷わず観察

安全・簡単! 試料交換ナビ

  • 試料交換ナビに従って試料を挿入
    試料交換ナビ / JSM-IT510
  • 真空排気時間を利用して観察準備
    試料交換ナビ / JSM-IT510

    ※1 ステージナビゲーションシステム (SNS) はオプションになります。
    ※2 SNS Large Sample (SNSLS) は別途オプションになります。SNS と併用できます。
    ※3 チャンバースコープ (CS) はオプションになります。

  • 自動的に観察開始
    真空排気完了後、目的視野でフォーカスと明るさが調整された状態です。
    試料交換ナビ / JSM-IT510

Zeromag

光学像を拡大すれば、SEM像

Zeromagは、ホルダーグラフィックや光学像とSEM像が連動する機能です。
複数の試料をホルダーにセットした場合や特定箇所を観察する場合の視野探しが容易になります。
※ 光学像を表示するにはオプションのステージナビゲーションシステム (SNS) が必要となります。

Zeromag / JSM-IT510
  • 試料: アンモナイトの化石
  • 加速電圧: 7 kV、信号: 反射電子

Live Analysis / Live Map 

観察中も常に元素分析

Live Analysisは、常に特性X線スペクトルや元素マップを表示させる機能です。
観察しながら、目的の元素を探すことができます。
※ A (Analysis) / LA (Low Vacuum & Analysis) に適用されます。

  • 試料: アンモナイトの化石
  • 加速電圧: 15 kV 倍率: ×1,000
Live Analysis / JSM-IT510

簡単分析機能

3クリックで分析を開始できます。

Live Analysis 簡単分析機能 / JSM-IT510

Simple SEMの機能についてご紹介しています。

動画紹介

Live Mapの機能についてご紹介しています。

◆上のボックス内の再生ボタンをクリックするとムービーが始まります (約2分)

充実の機能

低真空ハイブリッド二次電子検出器 (LHSED)

JSM-IT510は、新開発のLHSEDを搭載できます。
二次電子が残留ガス分子に衝突した際に発生する電子と励起光を検出することで、低真空でも凹凸情報が得られます。
※ オプションになります。LV (Low Vacuum)、LA (Low Vacuum & Analysis) が必要です。

試料交換ナビ / JSM-IT510

低真空ハイブリッド二次電子検出器の動作原理

  • 試料: 石膏
  • 加速電圧: 7 kV、倍率: ×10,000、信号: 低真空二次電子

Live 3D

新開発の4分割反射電子検出器で3D画像をライブ表示します。
それにより、凹凸の判断が難しい試料形状を視覚的に認識できます。
※ LV (Low Vacuum)、LA (Low Vacuum & Analysis) に適用されます。 BU (Base Unit)、A (Analysis) は反射電子検出器 (オプション)を装着すれば可能です。 

Simple SEM / JSM-IT510
  • 試料:ねじ
  • 加速電圧:15 kV 倍率:×100 信号:反射電子

動画紹介

Live 3Dの機能についてご紹介しています。

◆上のボックス内の再生ボタンをクリックするとムービーが始まります (約2分)

モンタージュ機能

複数視野を一枚の画像に自動で繋ぎ合わせます。

モンタージュ機能 / JSM-IT510
  • 試料: アンモナイトの化石
  • 加速電圧: 15 kV、倍率: ×150、信号: 反射電子 視野数: 13×13
※ 光学像を表示するにはオプションのステージナビゲーションシステム (SNS) が必要となります。

信号深さ表示

信号深さ表示機能は、SEMのGUIに組み込まれ、測定している試料の分析深さ (目安) を即座に知ることができます。元素分析の際に有効です。

信号深さ表示 / JSM-IT510

関連リンク

カタログ

仕様/オプション SPEC / OPTION

Technical DATA

JSM-IT510 Seriesは4タイプがあります。

BU (Base Unit)

高真空下での観察が可能なベーシックタイプ

A (Analysis)

エネルギー分散型X線分析装置 (EDS) が構成された、標準で分析が可能な分析タイプ

LV (Low Vacuum)

反射電子検出器(BED)が構成された、低真空下 (最大650 Pa) での観察が可能な低真空タイプ

LA (Low Vacuum & Analysis)

BEDとEDSが構成された、低真空分析タイプ

主な仕様

分解能

  • 高真空モード 
  • 3.0 nm (30 kV)、15.0 nm (1.0 kV)
  • 低真空モード ※1 
  • 4.0 nm (30 kV BED)

撮影倍率

  • ×5 ~ ×300,000
    (128 mm × 96 mmを表示サイズとして倍率を規定)

表示倍率

  • ×14 ~ ×839,724
    (358 mm × 269 mmを表示サイズとして倍率を規定)

電子銃

  • Wフィラメント 完全自動ガンアライメント

加速電圧

  • 0.3 kV ~ 30 kV

照射電流

  • 1 pA ~ 1 µA

低真空圧力設定範囲※1

  • 10 ~ 650 Pa

対物レンズ絞り

  • 4段 XY微調整機能付き

自動機能

  • フィラメント調整、ガンアライメント調整
  • ビームアライメント
  • フォーカス / 非点 / 明るさ / コントラスト調整

最大試料寸法

  • 200 mm 径 × 75 mm 高さ
  • 200 mm 径 × 80 mm 高さ ※3
  • 32 mm 径 × 90 mm 高さ ※3

試料ステージ

  • 大形ユーセントリック式
  • X:125 mm Y:100 mm Z:80 mm
  • 傾斜:-10 ~ 90° 回転:360°

画像モード

  • 二次電子像、REF像、組成像 ※1
  • 凹凸像 ※1、立体像 ※1、PD像 ※4

画像サイズ

  • 640 × 480 1,280 × 960
  • 2,560 × 1,920 5,120 × 3,840

撮影補助機能

  • モンタージュ撮影、Simple SEM
  • Zeromag、Live 3D

操作支援機能

  • レシピ (標準レシピ / カスタムレシピ)
  • 計測 (2点間距離、 平行線間隔、角度、直径等)
  • 試料交換ナビゲーション
  • 信号深さ表示
  • 3次元測定 ※5

OS

  • Microsoft® Windows®10 64bit

観察モニター

  • 23.8型タッチパネル

EDS機能 ※2

  • EDS仕様参照

データ管理

  • SMILE VIEW™ Lab

レポート作成
ワンクリックレポート

  • Microsoft®Wordへの出力
  • Microsoft®PowerPointへの出力 ※6

排気システム

  • 完全自動 TMP:1台 RP:1台または2台 ※1

主なオプション

  • 反射電子検出器 (BED) ※1
  • 低真空ハイブリッド二次電子検出器 (LHSED)
  • 低真空二次電子検出器 (LVSED)
  • エネルギー分散型X線分析装置 (EDS) ※2
  • 波長分散型X線分析装置 (WDS)
  • 後方散乱電子回析検出器 (EBSD)
  • ロードロックチャンバー (LLC)
  • ステージナビゲーションシステム (SNS)
  • ステージナビゲーションシステム Large Sample (SNSLS)
  • チャンバースコープ (CS)
  • オペレーションパネル (OP2)
  • LaB6ユニット (LAB6)
  • 三次元解析ソフトウェア (SVM)
  • テーブル (TBL)

EDS仕様

A (Analysis) / LA (Low Vacuum & Analysis) に適用されます。
●:標準 ○:オプション

標準

制御PC

OS:Microsoft®Windows®10 64bit ※8

対応言語

日本語 / 英語 / 中国語 ※7

検出器

SDDタイプ

検出器一覧より選択

スペクトル分析

  • 定性分析 (ピーク同定、自動定性)
  • ビジュアルピークID
  • スタンダードレス定量分析 (ZAF法)
  • スタンダード定量分析 (ZAF法) ※9
  • PHI-RHO-Z (PRZ) 法定量補正法
  • QBase (Qualitative analysis database)

線分析

線分析 (水平、任意方向)

元素マップ

  • 元素マップ (多色表示、単色表示、多色合成)
  • 最大解像度 4,096×3,072
  • リアルタイムポップアップスペクトル
  • 波形分離マップ (ネットカウントマップ、定量値マップ)
  • リアルタイムネットカウントマップ
  • リアルタイムフィルター
  • ラインプロファイル表示
  • プローブトラッキング
  • プレイバック分析

連続分析

  • スペクトル分析・線分析・元素マップ
  • 測定済みデータの一括解析 (定性・定量)

モンタージュ

  • 自動モンタージュ作成 (SEM像、元素マップ)
  • 複数視野にまたがる連続元素マップ

粒子解析ソフトウェア

  • 粒子解析 (自動 / 手動) & EDS分析、粒子解析データの分類機能、
    粒子解析データの統計処理のグラフ表示、広領域の連続粒子解析 & EDS分析
  • GSRライブラリー
  • 鉄鉱分析ライブラリー
  • 自動車部品洗浄度分析ライブラリー

  •  

報告書作成

SMILE VIEW™ Lab
Microsoft®Word、Microsoft®PowerPoint への出力 ※6

SEMインテグレーション

  • 観察・分析データ一元管理
  • SEMの操作画面で分析位置を指定 (SEMのUI上からダイレクト分析)
  • 分析位置のグラフィック表示

ヘルプ機能

ヘルプガイドあり

デュアル検出器

各検出器のデータを積算して分析 ※10

オフライン機能

装置以外のPCでデータ解析可能なライセンスソフトウェア

  • ※ 1 JSM-IT510LV / LA 標準機能です。
  • ※ 2 JSM-IT510A / LA 標準機能です。
  • ※ 3 オプションホルダーが必要です。
  • ※ 4 LHSED (オプション) が必要です。
  • ※ 5 SVM (オプション) が必要です。
  • ※ 6 Microsoft® Offce のインストールが必要です。
  • ※ 7 中国語はオプションです。
  • ※ 8 JSM-IT510A / LA タイプでは、EDS ソフトウェアは電子顕微鏡本体に付属のPC にインストールされます。EDS 専用のPC は不要です。
  • ※ 9 照射電流補正ユニット (オプション) が必要です。照射電流の自動読み取りは、電子顕微鏡本体のPC との接続に限ります。
  • ※ 10 同じ検出素子面積のEDS 検出器が2 式必要です。装着位置によって試料ステージの傾斜に制限がかかる場合があります。
  • 外観・仕様は改良のため予告無く変更する場合があります。
  • Microsoft、Windows、PowerPoint、Microsoft Office は米国Microsoft Corporation の米国およびその他の国における登録商標または商標です。
  • Microsoft Word は、米国Microsoft Corporation の商品名称です。

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