走査電子顕微鏡JSM-IT710HR／JSM-IT210を発売 ～さらなる進化で観察・分析は装置に任せて効率アップ～

公開日： 2023/07/12

日本電子株式会社 (代表取締役社長兼CEO 大井 泉) は、走査電子顕微鏡JSM-IT710HR / JSM-IT210を2023年7月23日より販売を開始します。

走査電子顕微鏡 (SEM) は、使用される目的も基礎研究から製造現場、品質保証から研究開発まで、幅広く、分野としては金属、半導体、電池、バイオ、高分子など、多岐にわたって活用されています。観察のみならず分析を意識しないで、より簡単に組成情報を確認したいというニーズはさらに高まっています。
JSM-IT710HRは電子銃の安定性を向上、JSM-IT210は5軸モーター試料ステージの搭載により、両機種ともに観察・分析の自動測定機能を進化させ、走査電子顕微鏡の総合力を大きく向上させました。
近年、マーケットから求められている自動化のニーズに応え、ルーティンワークの効率アップに貢献します。

主な特長

1. SEM像とEDS分析の取得を自動化 「Simple SEM」

SEM像の取得条件と視野の選択を行うだけで、あとは自動でSEM像とEDS (エネルギー分散X線分光法) 分析の取得を行う機能です。分析業務を含めたルーティンワークの効率化に貢献します。

2. その場で3D像を構築「Live3D」

SEM観察しながらその場で3D像を構築し、凹凸・深さ情報が得られます。

3. 従来システム 約5倍のエリアの光学像を取得「ステージナビゲーションシステムLS」

観察試料の光学像を取得し、光学像をクリックするだけで目的の観察視野へ移動が可能です。従来のステージナビゲーションシステムと比較して約5倍のエリアの光学像を取得できます。

4. 低真空下でも詳細な凹凸情報を取得「低真空ハイブリッド二次電子検出器 (LHSED) 」

二次電子が残留ガス分子に衝突した際に発生する電子と励起光を検出することで、低真空下でも詳細な凹凸情報が得られます。

5. 5軸モーター試料ステージ

5軸モーター試料ステージを標準搭載し、凹凸試料のSEM画像取得やEDS分析も可能です。

6. 電子銃の安定性を向上 (JSM-IT710HR)

電子ビーム安定度をさらに向上させ、多試料を同時に搭載可能な試料ホルダーを用いた、長時間の連続自動運転に対応します。

JSM-IT710HR

本体標準価格	39,000,000円～ (税込)
販売予定台数	150台/年間

JSM-IT210

本体標準価格	15,000,000円～ (税込)
販売予定台数	250台/年間