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関東学院大学および日本電子による共同研究論文が、学術誌「Ultramicroscopy」に掲載されました

公開日: 2026/04/10

本論文では、分割型検出器を用いた SEM(走査電子顕微鏡) による新たな表面評価手法を提案し、物質表面の微小な三次元形状および表面粗さを高精度に計測できることを示しました。

Evaluation Method of Surface Roughness using SEM

 

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