新型300kV原子分解能電子顕微鏡 "GRAND ARM™ 3"を販売開始
公開日： 2026/08/03
日本電子株式会社（代表取締役社長兼CEO 大井 泉）は、新型300kV原子分解能電子顕微鏡 "GRAND ARM™ 3"を開発し、2026年8月3日より販売を開始しました。
開発の背景
日本電子が誇るフラグシップモデル300kV原子分解能電子顕微鏡は、GRAND ARM™ 3として、その観察・分析性能を大幅に向上しました。
ドイツCEOS社との共同開発により、最新の収差補正装置"LASCOR(Large Aperture STEM Corrector)"および"ATCOR(Advanced TEM Corrector)"がGRAND ARM™ 3に搭載可能となりました。
従来を超える大きな開口条件での観察・分析を実現しました。これにより、STEMおよびTEMの両モードにおいて、これまでにない超高分解能観察と分析が可能になります。
また、新開発の高速スキャンシステムをGRAND ARM™ 3に統合することにより、STEM像を毎秒30フレーム以上で取得できるようになりました。
これまでSTEMでは困難であった原子レベルでのその場観察や動的現象の解析が可能となり、材料研究の新たな可能性を切り拓きます。
主な特長
LASCOR (Large Aperture STEM CORrector)の搭載
STEM収差補正装置LASCORは三段構成の六極子型収差補正電子光学系により、STEMモードにおけるロンチグラム上の収差補正領域が大幅に拡大されます。これにより、大きな収束角での観察が可能となり、回折限界の影響を低減した高分解能STEM像の取得が実現します。
また、収束半角の拡大に伴い焦点深度が浅くなることを利用し、対物レンズの焦点距離を微小量ずつ変化させながらSTEM観察を行うことで、試料の深さ方向の情報を高分解能で取得することも可能です。
ATCOR (Advanced TEM CORrector)の搭載
TEM収差補正装置ATCORの最適化された配置の二段構成の六極子型収差補正電子光学系により、従来のTEM収差補正装置では補正できなかった六回非点収差の補正を実現しました。
これにより、より広角に散乱された電子が収差の影響を受けずに結像に寄与するようになり、TEMモードにおける分解能の向上が実現されます。また、回折モードにおいては、広角散乱電子が受ける収差の影響が低減されるため、歪みの抑制された回折図形を取得することが可能です。
超高空間分解能・超高感度EDS分析の実現
LASCORの導入でより大きな収束角をとれるようになり、高プローブ電流と原子スケールの高分解能を両立した電子プローブの形成が可能になりました。加えて、158 mm² Dual SDDの高いX線検出効率のEDS分析システムにより、高分解能観察プローブを用いた高速EDS分析を実現しました。
高速スキャンシステムの搭載
専用のスキャンコイルと減衰時間の短いシンチレータを組み合わせることにより、１秒あたりに30フレーム以上でのSTEM観察を実現しました。原子分解能でのその場観察や化学反応などのダイナミックな現象をリアルタイムで追跡できます。
主な仕様
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STEM
- HAADF-STEM分解能 : 49 pm以下（300 kV時） / 76 pm以下（80 kV時）
- 収差補正角度領域 : 半角85 mrad以上（300 kV時）
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TEM
- TEM格子分解能 : 50 pm以下（300 kV時）
- TEM情報限界 : 60 pm以下（300 kV時）
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EDS
- EDS検出器 : 158mm2
- EDS検出立体角 : 1.4sr
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高速スキャン
- 最速スキャンスピード※ : 83 ns/pix以下
- 最短フライバックタイム : 20 μs以下（スキャンスピード 83 ns/pix時）
- フレームレート※ : 30 fps以上（画素サイズ 512 x 512 pix時）
本製品に構成するADF検出器（ADF2ポートに装着される検出器）のみ対応。
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製品ページは英文になります。
