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特長 STRONG POINT

BS-72010ICE/BS-72020ICE/BS-72050ICE 電子銃電源

BS-72010ICE / BS-72020ICE / BS-72050ICEは、多機能で高性能な偏向型電子銃用の制御電源です。


内部の各電源をスイッチング化して様々な機能を搭載し、且つ使い勝手を高めた次世代電子銃電源です。
多機能リモートコントローラーの採用により高度な設定が可能となり、お客様自身で電子銃の性能を引き出すことができるようになりました。

スイッチング電源による高速応答性

加速電源をスイッチング化したことにより、加速電圧立上り時間は従来の500~1000倍に高速化されています。
EB蒸着中に異常放電(アーキング)が発生すると、加速電圧の瞬間的な変動により電子ビームの照射位置が変化しますが、その際ルツボの外に付着した蒸着材料やダストを蒸発させてしまう事があります。720xxICE電源では、アーキング発生時の照射位置の変化時間を大幅に短縮させる事ができるため、付着物の飛散による膜中への異物混入(パーティクル)対策に有効です。

従来型電源
BS-72xxICE_従来型電源
異常放電時、電子ビームのルツボ外照射により付着物の再蒸発がパーティクル発生の一因となる。
異常放電発生時に放電抑止動作により加速電圧が変動。
BS-72xxICE電源
実験条件:6KV、400mA出力中、高圧導入部にガスを吹きかけ異常放電を故意に発生

放電抑止性能とアークカウント機能

放電抑止回路と加速電圧印加遮断による3段階の放電抑止機能(アークサプレッサー)が標準装備されています。
加速電圧印加遮断時からの復帰時間は従来型電源より大幅に高速化しました。
異常放電が多発しやすいガス導入雰囲気や低真空側動作でもより安定してビーム出力ができます。

またアークカウント機能を利用して、リモコン画面または外部アナログ出力から異常放電発生回数を確認することができます。
アーキング発生の頻度や回数から、真空室内の汚れ具合や電子銃の状態を把握することができるため、成膜プロセスの管理に有効です。

多機能リモートコントローラー

従来のJST-F電源操作盤2台分(2電子銃使用時)の表示系、操作スイッチ、リモコン機能が1台のリモートコントローラーに統合されています。

本リモートコントローラーから、電源の全ての機能にアクセスができます。
従来機操作盤・リモコンの基本操作に加え、スキャン周波数やビーム滞在時間調整、加速電圧変更、ビーム入射角度調整、フィラメントアニールのパターン運転、消磁機能、フィラメント稼働時間積算、アークカウント、放電回数出力制限なども全てリモコンから確認や設定する事ができます。

従来はオシロスコープやテスターなどの測定器が必要だった情報も数値情報表示します。
また従来弊社エンジニアで無ければできなかった様々な設定や調整が、測定器や工具無しにお客様自身でできるようになりました。

各パラメータは数値で設定・管理するため、複数台使用時にも全く同じ設定にする事ができ、装置ごとに条件の違いが出る事を防ぎます。
またトラブル時や技術支援時のサービス対応スピードが格段に向上するだけでなく、設定値を管理する事で万が一の場合も復旧が容易です。
パラメータ設定はパスワードで保護することができるため、作業者と管理者の権限設定によるパラメータ管理も可能です。

BS-720xxICE 多機能リモートコントローラー

スキャンパターンとスキャン調整機能

通常のXYスキャンモードに加え、サークルスキャンモードとアニュラーハース用のラインスキャンモードを標準で有しています。

また各モードにおいて、スキャン周波数設定や、ピーキング調整による滞在時間設定を行い、蒸着材料の溶け跡を改善することができます。
結果、良好な膜厚分布が得られやすくなり歩留まりが向上するだけでなく、成膜速度が安定し、材料の使用効率も改善されます。

スキャンパターンとスキャン調整機能

異なるスキャンモードによるバッチ間膜厚変化量

異なるスキャンモードによるバッチ間膜厚変化量
 

ワイドレンジ電源

入力電圧仕様は、JST-F電源の180~220Vに対し、720xxICE電源では180~242Vにワイドレンジ化しました。
従来、入力電圧220Vを標準とする地域では、入力電圧変動により仕様を超える入力電圧で使用される場合があり、電源を過負荷状態で使用するリスクがありました。
さらにビーム照射中の入力電圧変動は、ビームの位置ずれなどビーム特性の悪化に繋がる可能性がありましたが、720xxICE電源では入力電圧変動時の溶け跡への影響はほとんどありません。

入力電圧変動時の溶け跡影響
スポット溶け跡(ZrO2
スポット溶け跡(ZrO2)
スキャン溶け跡(ZrO2
スキャン溶け跡(ZrO2)
<実験条件>
電子銃:BS-60050EBS
入力電圧:
①AC 200V固定(50Hz)
②AC 180V~240V変動(50Hz)
※スライダック使用(右図)

良品率比較

ユーザー様のΦ1500mm真空蒸着装置にて、JST-10F電源とBS-72050ICE電源を使用したUV-IRカットフィルターの生産を量産レベルで行い、良品率を比較しました。 BS-72050ICE電源使用時は、異常放電発生時の高速復帰性能やスキャン調整機能による溶け跡改善により、JST-10F電源使用時より良品率が改善されました。

良品率比較

仕様 SPEC

型式 BS-72010ICE BS-72020ICE BS-72050ICE
電子銃接続数 1電子銃仕様 2電子銃同時仕様
最大出力 4.8kW 10kW
加速電圧 -1 ~ -6kV -2 ~ -10kV
エミッション電流 0 ~ 0.8A 0 ~ 1A
最大走査周波数 X軸/Y軸:1kHz
入力電源
3相 AC180 ~ 242V
7kVA
3相 AC180 ~ 242V
15kVA
3相 AC180 ~ 242V
16kVA
外形寸法(電源)
570mm(W)
×700mm(D)
×1,000mm(H)

570mm(W)×700mm(D)×1,400mm(H)
質量 約140kg 約180kg 約200kg
接地 A種(10Ω以下)

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